[實(shí)用新型]一種覆膠固晶系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420116355.2
• 申請(qǐng)日: 2014-03-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203774360U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫亞雷;米廣輝;羅尚峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳翠濤自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L33/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L33/00
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44268
• 代理人: 王永文;劉文求

1.一種覆膠固晶系統(tǒng)，其特征在于，包括：

晶圓盤(pán)，用于放置晶粒；

膠盤(pán)，用于對(duì)該晶粒的底部進(jìn)行黏膠處理；

載體，用于提供該晶粒的待固晶位；

固晶臂，用于拾取晶圓盤(pán)上的晶粒，并通過(guò)該固晶臂將所述晶粒送至膠盤(pán)工位進(jìn)行黏膠處理，再通過(guò)該固晶臂將黏膠處理后的晶粒粘焊在載體上的待固晶位；

所述固晶臂以直線(xiàn)、擺動(dòng)或旋轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)方式到達(dá)預(yù)定工位，所述晶圓盤(pán)、膠盤(pán)、載體依次設(shè)置在所述固晶臂運(yùn)動(dòng)軌跡的對(duì)應(yīng)工位上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的覆膠固晶系統(tǒng)，其特征在于，所述固晶臂端部設(shè)置有拾取裝置，所述拾取裝置通過(guò)夾持、電磁吸附或真空吸附的方式將晶圓盤(pán)上頂起的晶粒抓住。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的覆膠固晶系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端套接有旋轉(zhuǎn)安裝座，所述固晶臂可上下運(yùn)動(dòng)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的覆膠固晶系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)安裝座上間隔設(shè)置有若干個(gè)固晶臂。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的覆膠固晶系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

清洗盤(pán)，用于固晶后對(duì)固晶臂端部的拾取裝置上的抓取物表面進(jìn)行清潔處理。