[實用新型]旋轉陰極的排水裝置

有效

• 申請號: 201420111949.4
• 申請日: 2014-03-12
• 公開（公告）號: CN203715719U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 楊元才;褚家寶;韓子水;譚新;錢彭亮
• 申請（專利權）人: 上海福宜真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種旋轉陰極的排水裝置，其特征在于：包含水路循環軸，所述水路循環軸的內部包含一個由第一進水通道和第二進水通道構成的中空結構；

其中，所述第二進水通道的開口直徑大于所述第一進水通道的開口直徑，且所述第二進水通道包含一個頭段和一個尾段，所述頭段的開口直徑小于所述尾段的開口直徑；

所述旋轉陰極的排水裝置還包含：設置在所述循環軸第二進水通道內的彈簧、與所述彈簧連接的密封板和位于所述密封板下方并固定在所述第二進水通道尾段的出水器殼體、貫穿所述出水器殼體并抵住密封板的螺栓；

其中，所述彈簧插入所述第二進水通道內并抵住第二進水通道頭段的端面；所述密封板位于所述第二進水通道的尾段，且所述密封板的直徑與所述第二進水通道尾段開口的直徑大小相匹配；

所述出水器殼體具有一個與所述第二進水通道連通的出水通道。

2.根據權利要求1所述的旋轉陰極的排水裝置，其特征在于：所述出水器殼體與所述第二進水通道尾段之間還設有密封件。

3.根據權利要求2所述的旋轉陰極的排水裝置，其特征在于：所述密封件包含設置在所述出水器殼體兩側的密封壓環、密封環和膠圈；

其中，所述密封壓環的底部為一個壓緊所述水路循環軸底端的凸緣部。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的旋轉陰極的排水裝置，其特征在于：所述出水通道為開設在所述出水器殼體底部的出水口，并沿所述出水口向所述出水器殼體的上端面進行延伸所形成的貫通結構。

5.根據權利要求1至3中任意一項所述的旋轉陰極的排水裝置，其特征在于：所述出水通道包含開設在所述出水器殼體側面的出水口，以及開設在所述出水器殼體內部并與所述第二進水通道連通的入水通道；

所述出水口與所述入水通道導通。