[實用新型]支撐組件及具有該支撐組件的石墨舟

有效

• 申請號: 201420109936.3
• 申請日: 2014-03-11
• 公開（公告）號: CN203782230U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 王家道;傅登峰;吳衛平;曾德棟
• 申請（專利權）人: 海南英利新能源有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;H01L21/687;H01L21/673
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

技術領域

本實用新型涉及光伏領域，具體而言，涉及一種支撐組件及具有該支撐組件的石墨舟。

背景技術

現有技術中，在PECVD工藝時，工藝爐管通過抽真空的方式使其爐管氣壓保持在工藝設定值后，這時陶瓷圈兩端均與石墨舟片抵接，沒有空隙，使得陶瓷圈的軸向通孔內依然存在部分氣體，當通入工藝氣體時，陶瓷圈內外氣壓差導致氣體流動不均，造成色差，同時陶瓷圈里的氣體影響工藝爐管內工藝氣體的純度，造成對鍍膜的影響。

其中，PECVD（plasma?enhanced?chemical?vapor?deposition）：等離子增強化學氣相沉積，是一種太陽能電池生產制程中的鍍膜方式。

石墨舟：是鍍膜工序在進行鍍膜時使用于承載硅片的載體。

色差：同類物質在顏色上的差異。

陶瓷圈：石墨舟用來支撐及固定石墨舟片的一種部件，它也叫陶瓷管、陶瓷套。

實用新型內容

本實用新型旨在提供一種支撐組件及具有該支撐組件的石墨舟，以達到支撐組件內部的氣體易于被抽出的目的。

為了實現上述目的，本實用新型提供了一種支撐組件，用于支撐和固定石墨舟片，支撐組件包括：管狀本體，設置有軸向通孔；氣體通孔，設置在管狀本體的外周面上，并與軸向通孔連通。

進一步地，氣體通孔為設置在管狀本體的一側端部的凹槽，凹槽由管狀本體的外側向內側延伸。

進一步地，氣體通孔為多個，間隔布置于管狀本體的外周面上。

進一步地，多個氣體通孔沿管狀本體的周向間隔均布。

進一步地，在管狀本體的外周面上，氣體通孔的面積為S，其中，S≥1mm²。

本實用新型還提供了一種石墨舟，包括石墨舟片和設置在相鄰兩個石墨舟片之間的上述支撐組件。

應用本實用新型的支撐組件，通過在管狀本體上設置連通軸向通孔的氣體通孔，在支撐組件與石墨舟片配合時，軸向通孔內部的氣體可以很容易從氣體通孔處抽出，達到便于支撐組件內部氣體易于被抽出的目的。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為根據本實用新型支撐組件的實施例的主視結構示意圖；

圖2為圖1的側視結構示意圖。

圖中附圖標記：10、管狀本體；11、軸向通孔；20、氣體通孔。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。

如圖1和圖2所示，本實用新型實施例提供了一種支撐組件，用于支撐和固定石墨舟片，支撐組件包括管狀本體10和氣體通孔20。其中，管狀本體10設置有軸向通孔11。氣體通孔20設置在管狀本體10的外周面上，并與軸向通孔11連通。

通過在管狀本體10上設置連通軸向通孔11的氣體通孔20，在支撐組件與石墨舟片配合時，軸向通孔11內部的氣體可以很容易從氣體通孔20處抽出，達到便于支撐組件內部氣體易于被抽出的目的。

本實用新型實施例中的氣體通孔20為設置在管狀本體10的一側端部的凹槽，凹槽由管狀本體10的外側向內側延伸。

在配合位置時，管狀本體10的兩端部均分別與對應的石墨舟片抵接，在抽真空過程中，石墨舟片壓緊于管狀本體10的兩端，此時，管狀本體10與石墨舟片之間縫隙極小，內部氣體不能由該縫隙抽出。但由于設置有凹槽，在抽真空時，軸向通孔11內部的氣體能夠順利從凹槽抽出，使軸向通孔11內的氣體排凈。進而可以防止該氣體影響內外氣壓差導致氣體流動不均，造成色差，同時保證工藝爐管內處于真空狀態，不會影響工藝爐管內工藝氣體的純度，造成對鍍膜的影響。

本實用新型實施例中，凹槽在管狀本體10的外表面所在的展開平面內的面積為S，其中，S≥1mm²，且小于管狀本體10的側端部圓環的面積。

需要說明的是，本實用新型實施例中的凹槽的面積并不對本實用新型產生限制，上述凹槽的面積可以根據管狀本體10的大小和型號進行調整，凡是滿足上述結構特征的技術方案，均應在本申請的保護范圍內。

優選地，本實用新型還提供了另一種實施例，例如，上述氣體通孔20為多個，間隔布置于管狀本體10的外周面上。

設置多個氣體通孔20，可以更加快捷地將軸向通孔11內部的氣體抽出，縮短抽真空的過程，提高效率。