[實用新型]支撐組件及具有該支撐組件的石墨舟有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420109936.3 | 申請日: | 2014-03-11 |
| 公開(公告)號: | CN203782230U | 公開(公告)日: | 2014-08-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王家道;傅登峰;吳衛(wèi)平;曾德棟 | 申請(專利權(quán))人: | 海南英利新能源有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;H01L21/687;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人: | 吳貴明;張永明 |
| 地址: | 海南省海口市國家高新技術(shù)*** | 國省代碼: | 海南;66 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 支撐 組件 具有 石墨 | ||
1.一種支撐組件,用于支撐和固定石墨舟片,其特征在于,所述支撐組件包括:
管狀本體(10),設(shè)置有軸向通孔(11);
氣體通孔(20),設(shè)置在所述管狀本體(10)的外周面上,并與所述軸向通孔(11)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述支撐組件,其特征在于,所述氣體通孔(20)為設(shè)置在所述管狀本體(10)的一側(cè)端部的凹槽,所述凹槽由所述管狀本體(10)的外側(cè)向內(nèi)側(cè)延伸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述支撐組件,其特征在于,所述氣體通孔(20)為多個,間隔布置于所述管狀本體(10)的外周面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述支撐組件,其特征在于,多個所述氣體通孔(20)沿所述管狀本體(10)的周向間隔均布。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述支撐組件,其特征在于,在所述管狀本體(10)的外周面上,所述氣體通孔(20)的面積為S,其中,S≥1mm2。
6.一種石墨舟,包括石墨舟片和設(shè)置在相鄰兩個石墨舟片之間的支撐組件,其特征在于,所述支撐組件為根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的支撐組件。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





