[實用新型]光學取像系統及光學檢測系統

有效

• 申請號: 201420105222.5
• 申請日: 2014-03-10
• 公開（公告）號: CN203759357U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 高志豪;江慶原;鄧亦書
• 申請（專利權）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G01D21/00
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;楊建君

技術領域

本實用新型涉及一種光學取像系統，特別是涉及一種線掃描式微分干涉的光學取像系統及光學檢測系統。

背景技術

參閱圖1，現有的微分干涉儀普遍用在人員觀察微小粒子上，利用相位差之光學原理，而能在被觀測物體之高低差異處產生具有灰階值差異的影像。在自動光學檢查(Automated Optical Inspection，AOI)系統中，微分干涉儀普遍是搭配面型電荷耦合元件（Charge-coupled Device，CCD），且使用10倍以上的物鏡。

這是因為5倍以下的物鏡，會有較大的視野，而產生如圖1的成像，由于微分干涉儀的光學特性，造成圖中(A)、(C)區中粒子雖清楚成像，但是(B)區的粒子無法清楚成像的現象。因此，如何使得使用微分干涉儀的自動光學檢查系統，能夠在搭配低倍率物鏡而有較大視野的情況下，還能全部清楚成像，就成為一值得研究的主題。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種能適用于較大視野的光學取像系統。

本實用新型的目的在于提供一種能適用于較大視野的光學檢測系統。

本實用新型光學取像系統，用于對一待測物取像，包含：

一微分干涉裝置，具有一入光端及一出光端，該待測物之光線由該入光端進入該微分干涉裝置，經微分干涉后由該出光端發出；及

一線掃描取像裝置，連接于該微分干涉裝置的該出光端，擷取該出光端發出的光線而產生一線掃描影像。

較佳地，該光學取像系統還包含一自動追焦裝置，與該線掃描取像裝置信息連接，用于自動調整該微分干涉裝置的該入光端與該待測物的距離。

較佳地，該自動追焦裝置包括一連接該微分干涉裝置的連接單元及一供放置該待測物的平臺。

較佳地，該線掃描取像裝置包括一具有多個感光元件的線型感光單元，所述感光元件沿一方向排列，排列的方向是平行該微分干涉裝置能清楚成像的區域的延伸方向。

較佳地，該自動追焦裝置的平臺相對于該線掃描取像裝置而將該待測物沿著垂直于感光元件排列方向的方向移動，使該線掃描取像裝置逐步獲取整個待測物之影像。

較佳地，該自動追焦裝置的平臺是以連續的移動來使該線掃描取像裝置取得該待測物的全部影像。

較佳地，該微分干涉裝置包括由該入光端往該出光端沿一光學軸依序排列設置的顯微物鏡、微分干涉棱鏡、鏡筒，及檢偏鏡，以及連接于該鏡筒之一側的偏振鏡及光源。

本實用新型光學檢測系統包含：

一光學取像系統，用于對一待測物取像，包括：

一微分干涉裝置，具有一入光端及一出光端，該待測物之光線由該入光端進入該微分干涉裝置，經微分干涉后由該出光端發出，與

一線掃描取像裝置，連接于該微分干涉裝置的該出光端，擷取該出光端發出的光線而產生一線掃描影像；及

一檢測模塊，電連接于該線掃描取像裝置，該檢測模塊接收該線掃描影像，并進行比對檢測。

本實用新型的有益效果在于：通過該線掃描取像裝置搭配該微分干涉裝置，使所述感光元件排列的方向是平行該微分干涉裝置能清楚成像的區域的延伸方向，而使取像全程被線型感光單元取像的視野均保持清楚的成像。

附圖說明

圖1是一影像圖，說明現有技術；

圖2是一部分分解示意圖，說明本實用新型光學取像系統的一較佳實施例；

圖3是一組合示意圖，說明該較佳實施例；

圖4是一影像圖，說明該較佳實施例；及

圖5是一局部放大影像圖，為圖4中方框內的放大影像。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。

參閱圖2與圖3，本實用新型光學取像系統用于對一待測物4取像，該光學取像系統之較佳實施例包含一微分干涉裝置1、一線掃描取像裝置2，及一自動追焦裝置3。

該微分干涉裝置1大體而言具有一入光端101及一出光端102，該待測物4之光線由該入光端101進入該微分干涉裝置1，經微分干涉后由該出光端102發出，進入該線掃描取像裝置2。在本實施例中，該微分干涉裝置1包括由該入光端101往該出光端102沿一光學軸L依序排列設置的顯微物鏡11、微分干涉棱鏡12、鏡筒13，及檢偏鏡14，以及連接于該鏡筒13之一側的偏振鏡15及光源16。