[實用新型]光學取像系統及光學檢測系統有效
| 申請號： | 201420105222.5 | 申請日： | 2014-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN203759357U | 公開（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發明（設計）人： | 高志豪;江慶原;鄧亦書 | 申請（專利權）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/10 | 分類號： | G02B26/10;G01D21/00 |
| 代理公司： | 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355 | 代理人： | 張雅軍;楊建君 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 系統 檢測 | ||
1.一種光學取像系統，用于對一待測物取像，其特征在于，包含：
一微分干涉裝置，具有一入光端及一出光端，該待測物之光線由該入光端進入該微分干涉裝置，經微分干涉后由該出光端發出；及
一線掃描取像裝置，連接于該微分干涉裝置的該出光端，擷取該出光端發出的光線而產生一線掃描影像。
2.根據權利要求1所述的光學取像系統，其特征在于：該光學取像系統還包含一自動追焦裝置，與該線掃描取像裝置信息連接，用于自動調整該微分干涉裝置的該入光端與該待測物的距離。
3.根據權利要求2所述的光學取像系統，其特征在于：該自動追焦裝置包括一連接該微分干涉裝置的連接單元及一供放置該待測物的平臺。
4.根據權利要求3所述的光學取像系統，其特征在于：該線掃描取像裝置包括一具有多個感光元件的線型感光單元，所述感光元件沿一方向排列，排列的方向是平行該微分干涉裝置能清楚成像的區域的延伸方向。
5.根據權利要求4所述的光學取像系統，其特征在于：該自動追焦裝置的平臺相對于該線掃描取像裝置而將該待測物沿著垂直于感光元件排列方向的方向移動，使該線掃描取像裝置逐步獲取整個待測物之影像。
6.根據權利要求5所述的光學取像系統，其特征在于：該自動追焦裝置的平臺是以連續的移動來使該線掃描取像裝置取得該待測物的全部影像。
7.根據權利要求1至6中任一權利要求所述的光學取像系統，其特征在于：該微分干涉裝置包括由該入光端往該出光端沿一光學軸依序排列設置的顯微物鏡、微分干涉棱鏡、鏡筒，及檢偏鏡，以及連接于該鏡筒之一側的偏振鏡及光源。
8.一種光學檢測系統，其特征在于，包含：
一光學取像系統，用于對一待測物取像，包括：
一微分干涉裝置，具有一入光端及一出光端，該待測物之光線由該入光端進入該微分干涉裝置，經微分干涉后由該出光端發出，與
一線掃描取像裝置，連接于該微分干涉裝置的該出光端，擷取該出光端發出的光線而產生一線掃描影像；及
一檢測模塊，電連接于該線掃描取像裝置，該檢測模塊接收該線掃描影像，并進行比對檢測。
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