[實(shí)用新型]一種新型硅片測(cè)試機(jī)的乘片臺(tái)盤

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420103147.9
• 申請(qǐng)日: 2014-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN203746813U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃賽琴;陳輪興;林勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建安特微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 福州市鼓樓區(qū)京華專利事務(wù)所(普通合伙) 35212
• 代理人: 宋連梅

1.一種新型硅片測(cè)試機(jī)的乘片臺(tái)盤，包括一螺紋圓盤，其特征在于：所述乘片臺(tái)盤還包括一環(huán)體、一支撐組件以及一氣缸；所述螺紋圓盤上均勻分布有至少3個(gè)孔洞，所述環(huán)體內(nèi)側(cè)邊緣均勻開設(shè)有三個(gè)限位凹槽，所述支撐組件包括一圓形支撐板，所述圓形支撐板四周均勻分布有三個(gè)限位塊，所述限位塊恰能嵌設(shè)在所述限位凹槽中，所述限位塊上垂直設(shè)置有支撐柱，所述螺紋圓盤置于所述環(huán)體上，且三個(gè)支撐柱穿過所述3個(gè)孔洞；所述氣缸置于環(huán)體下方，且氣缸的活塞桿與所述圓形支撐板底部連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅片測(cè)試機(jī)的乘片臺(tái)盤，其特征在于：所述螺紋圓盤上開設(shè)有三個(gè)螺紋孔，所述螺紋圓盤通過螺絲穿過螺紋孔與所述環(huán)體進(jìn)行固定連接。