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[實用新型]一種新型硅片測試機的乘片臺盤有效

專利信息
申請號: 201420103147.9 申請日: 2014-03-07
公開(公告)號: CN203746813U 公開(公告)日: 2014-07-30
發明(設計)人: 黃賽琴;陳輪興;林勇 申請(專利權)人: 福建安特微電子有限公司
主分類號: H01L21/683 分類號: H01L21/683
代理公司: 福州市鼓樓區京華專利事務所(普通合伙) 35212 代理人: 宋連梅
地址: 351100 福建*** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 新型 硅片 測試 臺盤
【權利要求書】:

1.一種新型硅片測試機的乘片臺盤,包括一螺紋圓盤,其特征在于:所述乘片臺盤還包括一環體、一支撐組件以及一氣缸;所述螺紋圓盤上均勻分布有至少3個孔洞,所述環體內側邊緣均勻開設有三個限位凹槽,所述支撐組件包括一圓形支撐板,所述圓形支撐板四周均勻分布有三個限位塊,所述限位塊恰能嵌設在所述限位凹槽中,所述限位塊上垂直設置有支撐柱,所述螺紋圓盤置于所述環體上,且三個支撐柱穿過所述3個孔洞;所述氣缸置于環體下方,且氣缸的活塞桿與所述圓形支撐板底部連接。

2.根據權利要求1所述的一種新型硅片測試機的乘片臺盤,其特征在于:所述螺紋圓盤上開設有三個螺紋孔,所述螺紋圓盤通過螺絲穿過螺紋孔與所述環體進行固定連接。

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說明:

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