[實(shí)用新型]一種雙槽溝槽蝕刻機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420102843.8
• 申請(qǐng)日: 2014-03-08
• 公開（公告）號(hào): CN203782236U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬玉水
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東高唐杰盛半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電子元器件蝕刻處理裝置，具體涉及一種雙槽溝槽蝕刻機(jī)。

背景技術(shù)

蝕刻機(jī)主要應(yīng)用于航空、機(jī)械、標(biāo)牌工業(yè)中，蝕刻機(jī)技術(shù)廣泛地被使用于減輕重量?jī)x器鑲板，銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等之加工。在半導(dǎo)體和線路版制程上，蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。也可對(duì)各種金屬如：鐵、銅、鋁、鈦金、不銹鋼、鋅版、等金屬和金屬制品的表面蝕刻圖紋、花紋、幾何形狀，并能精確鏤空。也可專業(yè)針對(duì)各種型號(hào)的國(guó)產(chǎn)和進(jìn)口不銹鋼進(jìn)行蝕刻和薄板切割，如今廣泛應(yīng)用于金卡標(biāo)牌加工、手機(jī)按鍵加工、不銹鋼濾網(wǎng)加工、不銹鋼電梯裝飾板加工、金屬引線框加工、金屬眼鏡腳絲加工、線路板加工、裝飾性金屬板加工等工業(yè)用途?，F(xiàn)有的蝕刻機(jī)一般采用抓取機(jī)械手將裝有電子元器件的工具藍(lán)放入酸洗槽、水槽進(jìn)行蝕刻、清洗。機(jī)械手一般采用上下或左右的震動(dòng)方式在將電子元器件酸液中腐蝕，抓取機(jī)械手需要采用復(fù)雜的控制機(jī)構(gòu)才能實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)，常造成蝕刻面不均勻，大面積腐蝕速度慢，清洗不徹底等問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙槽溝槽蝕刻機(jī)，能夠解決蝕刻面不均勻，大面積腐蝕速度慢，清洗不徹底的問題。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種雙槽溝槽蝕刻機(jī)，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有酸洗槽、水洗槽，所述酸洗槽與水洗槽之間設(shè)有輸送裝置，所述輸送裝置上活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)籃筐，所述輸送裝置可把旋轉(zhuǎn)籃筐送入酸洗槽進(jìn)行蝕刻、所述輸送裝置可把旋轉(zhuǎn)籃筐送入水洗槽進(jìn)行清洗，所述旋轉(zhuǎn)籃筐可沿其中軸線轉(zhuǎn)動(dòng)；所述輸送裝置通過傳動(dòng)裝置與動(dòng)力輸出裝置相連。

進(jìn)一步，所述輸送裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸位于酸洗槽與水洗槽之間。

轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外側(cè)面上安裝有擺臂；所述旋轉(zhuǎn)籃筐的中軸線上設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸的兩端通過滾動(dòng)軸承連接在擺臂的端部；所述旋轉(zhuǎn)籃筐的中軸線垂直于擺臂。所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)軸通過傳動(dòng)裝置與動(dòng)力輸出裝置相連。

進(jìn)一步，所述動(dòng)力輸出裝置包括第一伺服電機(jī)、第二伺服電機(jī)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸為由內(nèi)管、外管通過滾動(dòng)軸承連接而成的內(nèi)外鑲嵌結(jié)構(gòu)；所述擺臂安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外管上，所述外管通過傳動(dòng)裝置與第一伺服電機(jī)相連。

所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的內(nèi)管通過傳動(dòng)裝置與第二伺服電機(jī)相連，轉(zhuǎn)動(dòng)軸的內(nèi)管的外側(cè)面上設(shè)有鏈輪，旋轉(zhuǎn)軸的外側(cè)面上設(shè)有鏈輪，內(nèi)管的外側(cè)面上的鏈輪與旋轉(zhuǎn)軸的外側(cè)面上的鏈輪通過穿過外管的傳動(dòng)鏈條相連；通過第一伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外管轉(zhuǎn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)擺臂沿轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，通過第二伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的內(nèi)軸轉(zhuǎn)動(dòng)從而帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)籃筐沿旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步，所述擺臂有兩個(gè)，所述擺臂固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外管的外側(cè)面上；所述兩擺臂的端部通過滾動(dòng)軸承連接有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)動(dòng)軸平行；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外管上設(shè)有鏈輪，所述鏈輪通過傳動(dòng)鏈條與第一伺服電機(jī)相連；所述內(nèi)管的長(zhǎng)度大于外管，所述內(nèi)管的外側(cè)面上位于外管以外部分上設(shè)有鏈輪，所述鏈輪通過傳動(dòng)鏈條與第二伺服電機(jī)相連。

進(jìn)一步，所述動(dòng)力輸出裝置還包括第三伺服電機(jī)；所述雙槽溝槽蝕刻機(jī)還包括擋霧罩，所述擋霧罩包括一對(duì)對(duì)稱設(shè)置的扇形立面，兩扇形立面之間通過圓弧面相連；所述外管的外側(cè)面上兩擺臂的外側(cè)各設(shè)有套管，扇形立面的頂點(diǎn)設(shè)置在套管上；其中一套管上設(shè)有鏈輪，所述鏈輪通過鏈條與第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連。設(shè)有活動(dòng)的擋霧罩，可以在酸洗時(shí)，有效低地阻擋酸霧向蝕刻機(jī)外蔓延并防止酸液外濺。

進(jìn)一步，所述酸洗槽的側(cè)面上設(shè)有系吸風(fēng)孔，所述吸風(fēng)孔與位于機(jī)架頂部的吸風(fēng)裝置相連。

進(jìn)一步，所述動(dòng)力輸出裝置通過電路與PLC可編程邏輯控制器相連，通過PLC可編程邏輯控制器相連控制動(dòng)力輸出裝置的工作。

進(jìn)一步，所述酸洗槽和/或水洗槽上設(shè)有氣槍，所述氣槍與噴氣裝置相連；所述酸洗槽和/或水洗槽設(shè)有噴頭，所述噴頭通過噴管與噴液裝置相連。

進(jìn)一步，所述酸洗槽的底面為與旋轉(zhuǎn)籃筐的外側(cè)面相適應(yīng)的弧面。

進(jìn)一步，所述酸洗槽上設(shè)有降溫盤管，所述降溫盤管與冷卻液循環(huán)裝置相連。