[實用新型]一種雙槽溝槽蝕刻機

有效

• 申請號: 201420102843.8
• 申請日: 2014-03-08
• 公開（公告）號: CN203782236U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 馬玉水
• 申請（專利權）人: 山東高唐杰盛半導體科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種雙槽溝槽蝕刻機，包括機架（8），機架（8）上設有酸洗槽（3）、水洗槽（4），其特征在于：

所述酸洗槽（3）與水洗槽（4）之間設有輸送裝置，所述輸送裝置上活動連接有旋轉籃筐（2），所述輸送裝置可把旋轉籃筐（2）送入酸洗槽（3）進行蝕刻、所述輸送裝置可把旋轉籃筐（2）送入水洗槽（4）進行清洗，所述旋轉籃筐（2）可沿其中軸線轉動；所述輸送裝置通過傳動裝置與動力輸出裝置相連。

2.如權利要求1所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述輸送裝置包括轉動軸（10）；所述轉動軸（10）位于酸洗槽（3）與水洗槽（4）之間；

轉動軸（10）的外側面上安裝有擺臂（5）；所述旋轉籃筐（2）的中軸線上設有旋轉軸（28），所述旋轉軸（28）的兩端通過滾動軸承（27）連接在擺臂（5）的端部；所述旋轉籃筐（2）的中軸線垂直于擺臂（5）；

所述轉動軸（10）、旋轉軸（28）通過傳動裝置與動力輸出裝置相連。

3.如權利要求2所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述動力輸出裝置包括第一伺服電機（17）、第二伺服電機（14）；所述轉動軸為由內管（19）、外管（22）通過滾動軸承（21）連接而成的內外鑲嵌結構；所述擺臂（5）安裝在轉動軸（10）的外管（22）上，所述外管（22）通過傳動裝置與第一伺服電機（17）相連；

所述轉動軸（10）的內管（19）通過傳動裝置與第二伺服電機（14）相連，轉動軸（10）的內管（19）的外側面上設有鏈輪（20），旋轉軸(28)的外側面上設有鏈輪（27），內管（19）的外側面上的鏈輪（20）與旋轉軸的外側面上的鏈輪（27）通過穿過外管（22）的傳動鏈條（29）相連；通過第一伺服電機（17）實現轉動軸的外管（22）轉動從而實現擺臂（5）沿轉動軸（10）轉動，通過第二伺服電機（14）實現轉動軸的內軸（19）轉動從而帶動旋轉籃筐（2）沿旋轉軸（28）轉動。

4.如權利要求3所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述擺臂（5）有兩個，所述擺臂（5）固定在轉動軸（10）的外管（22）的外側面上；所述兩擺臂（5）的端部通過滾動軸承連接有旋轉軸（28），旋轉軸（28）與轉動軸（10）平行；所述轉動軸（10）的外管（22）上設有鏈輪，所述鏈輪通過傳動鏈條與第一伺服電機（17）相連；所述內管（19）的長度大于外管，所述內管（19）的外側面上位于外管（22）以外部分上設有鏈輪，所述鏈輪通過傳動鏈條與第二伺服電機（14）相連。

5.如權利要求4所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述動力輸出裝置還包括第三伺服電機（18）；所述雙槽溝槽蝕刻機還包括擋霧罩（1），所述擋霧罩（1）包括一對對稱設置的扇形立面（30），兩扇形立面（30）之間通過圓弧面（32）相連；所述外管（22）的外側面上兩擺臂（5）的外側各設有套管，扇形立面（30）的頂點設置在套管上；其中一套管上設有鏈輪，所述鏈輪通過鏈條與第三驅動電機（18）相連。

6.如權利要求1到5任意一權利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述酸洗槽（3）的側面上設有系吸風孔（9），所述吸風孔（9）與位于機架頂部的吸風裝置（13）相連。

7.如權利要求1到5任意一權利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述動力輸出裝置通過電路與PLC可編程邏輯控制器（12）相連，通過PLC可編程邏輯控制器（12）相連控制動力輸出裝置的工作。

8.如權利要求1到5任意一權利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述酸洗槽（3）和/或水洗槽（4）上設有氣槍（26），所述氣槍（26）與噴氣裝置（16）相連；所述酸洗槽（3）和/或水洗槽（4）設有噴頭（15），所述噴頭（15）通過噴管（23）與噴液裝置相連。

9.如權利要求1到5任意一權利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：?所述酸洗槽的底面（24）為與旋轉籃筐的外側面相適應的弧面。

10.如權利要求1到5任意一權利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述酸洗槽（3）上設有降溫盤管（25），所述降溫盤管（25）與冷卻液循環裝置相連。