[實用新型]一種雙槽溝槽蝕刻機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420102843.8
• 申請日: 2014-03-08
• 公開（公告）號: CN203782236U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬玉水
• 申請（專利權(quán)）人: 山東高唐杰盛半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種雙槽溝槽蝕刻機，包括機架（8），機架（8）上設(shè)有酸洗槽（3）、水洗槽（4），其特征在于：

所述酸洗槽（3）與水洗槽（4）之間設(shè)有輸送裝置，所述輸送裝置上活動連接有旋轉(zhuǎn)籃筐（2），所述輸送裝置可把旋轉(zhuǎn)籃筐（2）送入酸洗槽（3）進(jìn)行蝕刻、所述輸送裝置可把旋轉(zhuǎn)籃筐（2）送入水洗槽（4）進(jìn)行清洗，所述旋轉(zhuǎn)籃筐（2）可沿其中軸線轉(zhuǎn)動；所述輸送裝置通過傳動裝置與動力輸出裝置相連。

2.如權(quán)利要求1所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述輸送裝置包括轉(zhuǎn)動軸（10）；所述轉(zhuǎn)動軸（10）位于酸洗槽（3）與水洗槽（4）之間；

轉(zhuǎn)動軸（10）的外側(cè)面上安裝有擺臂（5）；所述旋轉(zhuǎn)籃筐（2）的中軸線上設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸（28），所述旋轉(zhuǎn)軸（28）的兩端通過滾動軸承（27）連接在擺臂（5）的端部；所述旋轉(zhuǎn)籃筐（2）的中軸線垂直于擺臂（5）；

所述轉(zhuǎn)動軸（10）、旋轉(zhuǎn)軸（28）通過傳動裝置與動力輸出裝置相連。

3.如權(quán)利要求2所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述動力輸出裝置包括第一伺服電機（17）、第二伺服電機（14）；所述轉(zhuǎn)動軸為由內(nèi)管（19）、外管（22）通過滾動軸承（21）連接而成的內(nèi)外鑲嵌結(jié)構(gòu)；所述擺臂（5）安裝在轉(zhuǎn)動軸（10）的外管（22）上，所述外管（22）通過傳動裝置與第一伺服電機（17）相連；

所述轉(zhuǎn)動軸（10）的內(nèi)管（19）通過傳動裝置與第二伺服電機（14）相連，轉(zhuǎn)動軸（10）的內(nèi)管（19）的外側(cè)面上設(shè)有鏈輪（20），旋轉(zhuǎn)軸(28)的外側(cè)面上設(shè)有鏈輪（27），內(nèi)管（19）的外側(cè)面上的鏈輪（20）與旋轉(zhuǎn)軸的外側(cè)面上的鏈輪（27）通過穿過外管（22）的傳動鏈條（29）相連；通過第一伺服電機（17）實現(xiàn)轉(zhuǎn)動軸的外管（22）轉(zhuǎn)動從而實現(xiàn)擺臂（5）沿轉(zhuǎn)動軸（10）轉(zhuǎn)動，通過第二伺服電機（14）實現(xiàn)轉(zhuǎn)動軸的內(nèi)軸（19）轉(zhuǎn)動從而帶動旋轉(zhuǎn)籃筐（2）沿旋轉(zhuǎn)軸（28）轉(zhuǎn)動。

4.如權(quán)利要求3所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述擺臂（5）有兩個，所述擺臂（5）固定在轉(zhuǎn)動軸（10）的外管（22）的外側(cè)面上；所述兩擺臂（5）的端部通過滾動軸承連接有旋轉(zhuǎn)軸（28），旋轉(zhuǎn)軸（28）與轉(zhuǎn)動軸（10）平行；所述轉(zhuǎn)動軸（10）的外管（22）上設(shè)有鏈輪，所述鏈輪通過傳動鏈條與第一伺服電機（17）相連；所述內(nèi)管（19）的長度大于外管，所述內(nèi)管（19）的外側(cè)面上位于外管（22）以外部分上設(shè)有鏈輪，所述鏈輪通過傳動鏈條與第二伺服電機（14）相連。

5.如權(quán)利要求4所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述動力輸出裝置還包括第三伺服電機（18）；所述雙槽溝槽蝕刻機還包括擋霧罩（1），所述擋霧罩（1）包括一對對稱設(shè)置的扇形立面（30），兩扇形立面（30）之間通過圓弧面（32）相連；所述外管（22）的外側(cè)面上兩擺臂（5）的外側(cè)各設(shè)有套管，扇形立面（30）的頂點設(shè)置在套管上；其中一套管上設(shè)有鏈輪，所述鏈輪通過鏈條與第三驅(qū)動電機（18）相連。

6.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述酸洗槽（3）的側(cè)面上設(shè)有系吸風(fēng)孔（9），所述吸風(fēng)孔（9）與位于機架頂部的吸風(fēng)裝置（13）相連。

7.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述動力輸出裝置通過電路與PLC可編程邏輯控制器（12）相連，通過PLC可編程邏輯控制器（12）相連控制動力輸出裝置的工作。

8.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述酸洗槽（3）和/或水洗槽（4）上設(shè)有氣槍（26），所述氣槍（26）與噴氣裝置（16）相連；所述酸洗槽（3）和/或水洗槽（4）設(shè)有噴頭（15），所述噴頭（15）通過噴管（23）與噴液裝置相連。

9.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：?所述酸洗槽的底面（24）為與旋轉(zhuǎn)籃筐的外側(cè)面相適應(yīng)的弧面。

10.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種雙槽溝槽蝕刻機，其特征在于：所述酸洗槽（3）上設(shè)有降溫盤管（25），所述降溫盤管（25）與冷卻液循環(huán)裝置相連。