[實用新型]管道防護裝置和光阻供應裝置

有效

• 申請號: 201420102221.5
• 申請日: 2014-03-07
• 公開（公告）號: CN203770946U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 顧燁
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: F16L57/02
• 分類號: F16L57/02;F16L7/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別涉及一種管道防護裝置和采用所述管道防護裝置的光阻供應裝置。?

背景技術

光阻（Photo?Resist，PR），亦稱為光阻劑或光刻膠，一種應用于多種工業制程上的光敏材料。在半導體制造過程中，光阻通常應用于光刻工藝，在光刻工藝中利用光阻的光化學反應將所需要的微細圖形從掩模版轉移至待加工的硅片或玻璃上。光阻是半導體制造工藝中非常關鍵的化工材料，對產品的質量影響非常大。光阻通常以液態形式放置于光阻瓶中，當光阻用完時，需要補充新的光阻或者將空的光阻瓶換下，換上新的光阻瓶。?

請參考圖1，其為現有技術的光阻供應裝置的結構示意圖。如圖1所示，光阻供應裝置100包括：光阻瓶10和光阻輸出管道12，其中，光阻瓶10上設置有用于密封的光阻瓶蓋11，所述光阻輸出管道12貫穿所述光阻瓶蓋11并伸入所述光阻瓶10中，為了控制光阻的使用量，所述光阻輸出管道12的直徑一般在6mm左右，使用時通過所述光阻輸出管道12抽取光阻瓶10內的光阻，直至光阻瓶10內的光阻用完。光阻瓶10內的光阻用完之后，通常需要補充光阻或更換新的光阻瓶。為此，操作人員需要將光阻瓶蓋11和光阻輸出管道12同時拔出，之后重新插入光阻瓶10或者插入新的光阻瓶中。?

補充光阻或更換新的光阻瓶都依賴人工作業，若作業不當位于所述光阻瓶蓋11附近的光阻輸出管道12非常容易因受力而彎折。而且光阻的日消耗量非常大，更換光阻的頻率也比較頻繁，無法完全避免人為作業失誤。光阻輸出管道12一旦出現彎折，就無法輸出光阻或者造成輸出的光阻量不足，無論是光阻無法輸出還是輸出的量不足都會造成的產品報廢。由于檢查滯后于生產，發現問題時通常已經有幾十個批次的產品受到影響了。可見，一旦光阻輸出管道12?出現彎折，造成的損失非常大。?

因此，如何解決現有技術的光阻供應裝置在輸出光阻時存在無法輸出或輸出不足的問題成為當前亟需解決的技術問題。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種管道防護裝置和光阻供應裝置，以解決現有的光阻供應裝置在輸出光阻時存在無法輸出或輸出不足的問題。?

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種管道防護裝置，用于保護光阻輸出管道，所述管道防護裝置包括：螺旋狀防護套和緊固件；?

所述緊固件通過插接與所述螺旋狀防護套固定；?

其中，所述緊固件具有管道通孔，所述管道通孔與所述螺旋狀防護套連通。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述緊固件包括插頭、螺桿及螺母；?

所述螺桿的一端與所述插頭固定，所述螺桿的另一端與所述螺母匹配。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述插頭包括墊圈和多個葉片；?

所述墊圈的形狀為圓環形，所述多個葉片環繞于所述墊圈并與所述螺桿的一端固定；?

每個葉片相對于所述螺桿的底面均是傾斜的，所述多個葉片的傾斜方向相交于同一點。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述螺桿包括依次連接的第一螺桿和第二螺桿，所述第一螺桿和第二螺桿的橫截面均為圓環形，?

所述第一螺桿和第二螺桿的橫截面的圓心均在同一條直線上。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述多個葉片均勻分布且傾斜方向均相交于所述直線上的同一點。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述墊圈、第一螺桿和第二螺桿的內徑均大于所述光阻輸出管道的外徑。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述緊固件還包括一防滑圈，所述防滑圈的內徑與所述第二螺桿的外徑相匹配并設置于所述第二螺桿的外側。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述螺旋狀防護套的橫截面為圓環形，所述螺旋狀防護套的最小內徑大于所述光阻輸出管道的外徑；?

所述螺旋狀防護套的一端設置有插口，所述插口的外形尺寸與所述插頭的外形尺寸相適配。?

優選的，在所述的管道防護裝置中，所述螺旋狀防護套的形狀為圓錐形。?

本實用新型還提供一種光阻供應裝置，所述光阻供應裝置包括：光阻瓶、光阻輸出管道和如上所述的管道防護裝置；?

所述光阻瓶具有一光阻瓶蓋，所述光阻瓶蓋上設置有一輸出通孔；?

所述管道防護裝置包括螺旋狀防護套和緊固件，所述緊固件的一端通過插接與所述螺旋狀防護套固定，所述緊固件的另一端穿過所述輸出通孔并與所述光阻瓶蓋固定；?

所述光阻輸出管道穿過所述螺旋狀防護套和緊固件伸入所述光阻瓶中。?