[實用新型]管道防護裝置和光阻供應裝置

有效

• 申請號: 201420102221.5
• 申請日: 2014-03-07
• 公開（公告）號: CN203770946U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 顧燁
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: F16L57/02
• 分類號: F16L57/02;F16L7/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種管道防護裝置，用于保護光阻輸出管道，其特征在于，包括：螺旋狀防護套和緊固件；?

所述緊固件通過插接與所述螺旋狀防護套固定；?

其中，所述緊固件具有管道通孔，所述管道通孔與所述螺旋狀防護套連通。?

2.如權利要求1所述的管道防護裝置，其特征在于，所述緊固件包括插頭、螺桿及螺母；?

所述螺桿的一端與所述插頭固定，所述螺桿的另一端與所述螺母匹配。?

3.如權利要求2所述的管道防護裝置，其特征在于，所述插頭包括墊圈和多個葉片；?

所述墊圈的形狀為圓環形，所述多個葉片環繞于所述墊圈并與所述螺桿的一端固定；?

每個葉片相對于所述螺桿的底面均是傾斜的，所述多個葉片的傾斜方向相交于同一點。?

4.如權利要求2所述的管道防護裝置，其特征在于，所述螺桿包括依次連接的第一螺桿和第二螺桿，所述第一螺桿和第二螺桿的橫截面均為圓環形，?

所述第一螺桿和第二螺桿的橫截面的圓心均在同一條直線上。?

5.如權利要求4所述的管道防護裝置，其特征在于，所述多個葉片均勻分布且傾斜方向均相交于所述直線上的同一點。?

6.如權利要求4所述的管道防護裝置，其特征在于，所述墊圈、第一螺桿和第二螺桿的內徑均大于所述光阻輸出管道的外徑。?

7.如權利要求4所述的管道防護裝置，其特征在于，所述緊固件還包括一防滑圈，所述防滑圈的內徑與所述第二螺桿的外徑相匹配并設置于所述第二螺桿的外側。?

8.如權利要求2所述的管道防護裝置，其特征在于，所述螺旋狀防護套的橫截面為圓環形，所述螺旋狀防護套的最小內徑大于所述光阻輸出管道的外徑；?

所述螺旋狀防護套的一端設置有插口，所述插口的外形尺寸與所述插頭的外形尺寸相適配。?

9.如權利要求8所述的管道防護裝置，其特征在于，所述螺旋狀防護套的?形狀為圓錐形。?

10.一種光阻供應裝置，其特征在于，包括：光阻瓶、光阻輸出管道和如權利要求1至9中任一項所述的管道防護裝置；?

所述光阻瓶具有一光阻瓶蓋，所述光阻瓶蓋上設置有一輸出通孔；?

所述管道防護裝置包括螺旋狀防護套和緊固件，所述緊固件的一端通過插接與所述螺旋狀防護套固定，所述緊固件的另一端穿過所述輸出通孔并與所述光阻瓶蓋固定；?

所述光阻輸出管道穿過所述螺旋狀防護套和緊固件伸入所述光阻瓶中。?