[實用新型]隔離式搬運盒的密合結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420097795.8
• 申請日: 2014-03-05
• 公開（公告）號: CN203707098U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 翁連波;張耀中
• 申請（專利權(quán)）人: 耀連科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種隔離式搬運盒的密合結(jié)構(gòu)，特別關(guān)于一種能提高氣密性的隔離式搬運盒的密合結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前半導(dǎo)體工藝中常使用自動化物料搬運系統(tǒng)(Automated?Material?Handling?System，AMHS)與隔離進(jìn)出料標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面(Standard?Mechanical?Interface，SMIF)設(shè)備，其通過隔離式搬運盒進(jìn)行晶圓(wafer)與光掩膜(photomask)于非使用期間的維護(hù)與運送，不但能取代傳統(tǒng)人工搬運、降低無塵室設(shè)備的建置與維護(hù)成本，還能提升晶圓與光掩膜的潔凈度，達(dá)到超高生產(chǎn)良率，故近年來，隔離式搬運盒已成為半導(dǎo)體廠無塵室中不可或缺的搬運工具。

如上所述，為避免破壞晶圓或光掩膜，一般是采用晶圓盒或光掩膜盒來保護(hù)晶圓或光掩膜，且于盒內(nèi)充填惰性氣體以防止晶圓或光掩膜產(chǎn)生氧化而毀損。請參閱圖1所示，其揭示一種現(xiàn)有的光掩膜盒1，所述光掩膜盒1包含一底座13及一上蓋14，所述底座13的底部具有數(shù)個可連接充氣管的填充裝置12，利用所述填充裝置12使充氣管可在欲進(jìn)行進(jìn)氣作業(yè)時對光掩膜盒1充填氣體，以提升晶圓與光掩膜的潔凈度。

然而，由于所述底座13與上蓋14是通過彼此之間的底座溝槽及上蓋側(cè)壁相卡合，所述底座溝槽及上蓋側(cè)壁的接合處仍存在有間隙，導(dǎo)致于進(jìn)氣作業(yè)時，氣體容易從間隙泄出而造成氣密性不佳，進(jìn)一步影響所述光掩膜盒1內(nèi)部的氣壓，而無法在進(jìn)氣作業(yè)的過程中，迅速充氣達(dá)到預(yù)定的氣壓值。

故，有必要提供一種隔離式搬運盒，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供一種隔離式搬運盒的密合結(jié)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在氣密性不佳的問題。

本發(fā)明的主要目的在于提供一種隔離式搬運盒，利用下凸環(huán)體抵靠上承接部及上凸環(huán)體抵靠下承接部，可提高隔離式搬運盒的氣密性。

為達(dá)成本發(fā)明的前述目的，本發(fā)明一實施例提供一種隔離式搬運盒的密合結(jié)構(gòu)，包含一底座、一環(huán)形墊片及一上蓋，所述環(huán)形墊片放置在所述底座上，且所述環(huán)形墊片的一周緣具有一下凸環(huán)體及一下承接部，所述上蓋抵靠在所述環(huán)形墊片上，且所述上蓋包含一頂壁、一側(cè)壁及一密合環(huán)，所述側(cè)壁自所述頂壁的一周緣向下延伸，所述密合環(huán)自所述側(cè)壁的一底周緣水平向外延伸，其中所述密合環(huán)具有一上承接部及一上凸環(huán)體，所述上承接部用以供所述下凸環(huán)體抵靠，所述上凸環(huán)體抵靠于所述下承接部。

在本發(fā)明的一實施例中，所述環(huán)形墊片的周緣依序形成所述下凸環(huán)體及下承接部，所述下承接部自所述下凸環(huán)體水平向外延伸；且所述密合環(huán)對應(yīng)依序形成所述上承接部及上凸環(huán)體，所述上凸環(huán)體自所述上承接部水平向外延伸。

在本發(fā)明的一實施例中，所述環(huán)形墊片的周緣依序形成所述下承接部及下凸環(huán)體，所述下凸環(huán)體自所述下承接部水平向外延伸；且所述密合環(huán)對應(yīng)依序形成所述上凸環(huán)體及上承接部，所述上承接部自所述上凸環(huán)體水平向外延伸。

在本發(fā)明的一實施例中，所述下凸環(huán)體具有一倒U字形的縱剖面。

在本發(fā)明的一實施例中，所述上凸環(huán)體具有一U字形的縱剖面。

在本發(fā)明的一實施例中，所述上蓋還包含至少一凹陷部，所述凹陷部形成在所述頂壁的至少一角隅。

在本發(fā)明的一實施例中，所述上蓋還包含一矩形凹槽，所述矩形凹槽形成在所述頂壁中央。

在本發(fā)明的一實施例中，所述底座具有一頂面及一凹陷環(huán)部，所述凹陷環(huán)部形成在所述頂面的一外周側(cè)，且用以供所述環(huán)形墊片放置。

在本發(fā)明的一實施例中，所述環(huán)形墊片還具有一階梯部，所述下凸環(huán)自所述階梯部的一端延伸而與所述底座相間隔。

在本發(fā)明的一實施例中，所述環(huán)形墊片還具有一伸入部，自所述階梯部的另一端延伸且伸入所述底座中。

如上所述，通過所述上承接部抵靠所述下凸環(huán)體以及所述上凸環(huán)體抵靠于所述下承接部，于進(jìn)氣作業(yè)進(jìn)行時，能夠減少所述隔離式搬運盒的內(nèi)部氣體外泄的機(jī)會，進(jìn)而提高其氣密性，同時使所述隔離式搬運盒在進(jìn)氣作業(yè)的過程中，能夠迅速充氣達(dá)到預(yù)定的氣壓值。

附圖說明

圖1是一現(xiàn)有光掩膜盒的立體分解圖。

圖2是本發(fā)明一實施例隔離式搬運盒的立體分解圖。

圖3是本發(fā)明一實施例隔離式搬運盒的側(cè)視分解圖。

圖4是本發(fā)明一實施例隔離式搬運盒的側(cè)視組合圖。

圖5是本發(fā)明一實施例隔離式搬運盒的俯視圖。

圖6是本發(fā)明另一實施例隔離式搬運盒的局部側(cè)視圖。

圖7是本發(fā)明又一實施例隔離式搬運盒的局部側(cè)視圖。