[實用新型]光學處理系統

有效

• 申請號: 201420096365.4
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN203825362U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 鄭博文
• 申請（專利權）人: 鄭博文
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B26/10
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種光學處理系統，其特征在于，用于在一像平面上產生一圖像圖案，該光學處理系統包括：

至少一圖像產生單元，該圖像產生單元包括：

一發光單元模塊，用于發出一圖像光束，且包括多個非線性排列或者排成陣列的發光單元；

一成像鏡頭，配置于該圖像光束的傳遞路徑上，且用于將該圖像光束投射于該像平面上；以及

一光學掃描單元，配置于該圖像光束的傳遞路徑上，且用于使該圖像光束掃描該像平面，以產生該圖像圖案。

2.根據權利要求1所述的光學處理系統，其特征在于，還包括一控制單元，電性連接至該圖像產生單元及該光學掃描單元，其中當該控制單元命令該光學掃描單元將該圖像光束移動至該像平面的一位置時，該圖像光束在該像平面上的一區域產生一區域圖像，且當該控制單元命令該光學掃描單元將該圖像光束移動至該像平面的不同位置時，該圖像光束在該像平面上的不同區域分別產生多個區域圖像，且該些區域圖像疊合成該圖像圖案。

3.根據權利要求1或2所述的光學處理系統，其特征在于，該光學掃描單元包括：

一第一振鏡，配置于該圖像光束的傳遞路徑上，且適于繞著一第一軸線擺動；以及

一第二振鏡，配置于來自該第一振鏡的該圖像光束的傳遞路徑上，且適于繞著一第二軸線擺動，

該發光單元模塊中的該些發光單元為自發光式光源，由該自發光式光源所發出的該圖像光束通過該第一振鏡與該第二振鏡的擺動而改變該圖像光束在該像平面上的相對照射位置。

4.根據權利要求1或2所述的光學處理系統，其特征在于，該掃描單元包括一振鏡，配置于該圖像光束的傳遞路徑上，且適于在兩個維度上擺動，該發光單元模塊中的該些發光單元為自發光式光源，由該自發光式光源所發出的該圖像光束通過該振鏡的擺動而改變該圖像光束在該像平面上的相對照射位置。

5.根據權利要求1或2所述的光學處理系統，其特征在于，還包括一載臺，位于該像平面處，且用于承載一待處理物，該載臺適于移動或通過一致動器推動該載臺使該圖像光束掃描該像平面上的該待處理物。

6.一種光學處理系統，其特征在于，用于在一像平面上產生一圖像圖案，該光學處理系統包括：

至少一圖像產生單元，該圖像產生單元包括：

一發光單元模塊，用于發出一圖像光束，且包括多個非線性排列或者排成陣列的發光單元；

一成像鏡頭，配置于該圖像光束的傳遞路徑上，且用于將該圖像光束投射于該像平面上；以及

一載臺，該像平面位于該載臺上，該載臺用于承載一待反應物，該載臺適于移動或通過一致動器推動該像平面，使該圖像光束掃描該像平面，以在該像平面上產生該圖像圖案。

7.根據權利要求6所述的光學處理系統，其特征在于，還包括一控制單元，電性連接至該圖像產生單元及該載臺或該致動器，其中當該控制單元命令該載臺或該致動器使該圖像光束照射到該像平面的一位置時，該圖像光束在該像平面上的一區域產生一區域圖像，且當該控制單元命令該載臺或該致動器使該圖像光束照射到該像平面的不同位置時，該圖像光束在該像平面上的不同區域分別產生多個區域圖像，且該些區域圖像疊合成該圖像圖案。

8.根據權利要求1或2或6或7所述的光學處理系統，其特征在于，該圖像光束沿著一第一方向掃描該像平面，或該圖像光束沿著該第一方向及一不同于該第一方向的第二方向掃描該像平面，其中該第一方向與該第二方向構成該像平面。

9.根據權利要求1或2或6或7所述的光學處理系統，其特征在于，該發光單元模塊中的該些發光單元為自發光式光源，包括發光二極管、超發光二極管、或激光二極管。

10.根據權利要求1或2或6或7所述的光學處理系統，其特征在于，該圖像光束的波長落在200納米至430納米的范圍內。