[實用新型]玻璃基板監測裝置

有效

• 申請號: 201420093928.4
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN203833166U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 劉峻承;譚莉;曾瑞軒;林信安;黃于維;林志明
• 申請（專利權）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號: B65G43/00
• 分類號: B65G43/00;G01L1/00;G01L1/24
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 吳俊

技術領域

本實用新型涉及顯示面板制造領域，具體涉及一種玻璃基板監測裝置，在玻璃基板旋轉過程中實現對玻璃基板的異常情況進行監測。?

背景技術

如今，隨著手機、電腦的迅速發展，人們對屏幕的要求也越來越高，顯示面板行業也得到了飛速的發展。?

傳統工藝中，制備液晶顯示器或玻璃基板等離子體顯示器等顯示器件時，使用的玻璃基板容易在保管或運輸過程中，在其表面上容易產生瑕疵或污跡，進而造成產品缺陷。尤其是在需要對玻璃基板進行旋轉操作時，需要將玻璃基板放置于旋轉腔體中進行旋轉，玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板具體的：?

圖1為傳統的旋轉腔體中旋轉機臺的結構示意圖，如圖1所示，該旋轉機臺上放置有玻璃基板7。該機臺包括一圓形可旋轉底座1，底座1中心設置有一光學感應器2。同時該底座1向外延伸有四根延展臂3及多根延伸桿4；每個延展臂3的末端皆垂直設置有兩根固定銷5，且每根固定銷的高度皆相等；?

在每根延展臂3、延伸桿4和底座上1方還設置有多根支撐柱6，支撐柱6在延展臂3、延伸桿4和底座呈均勻分布且每根支撐柱的頂面高度低于固定銷5的高度。?

在運輸過程中，利用機械手臂將玻璃基板7放置于機臺上，機臺帶動玻璃基板7并進行旋轉。在傳統技術中，可通過在底座1上增設一光學感應器2來監測機臺上方是否放置有基板：如果光學感應器2?感應到機臺上方沒有放置玻璃基板，則會通過報警裝置通知操作人員。?

但是操作人員發現，在機臺帶動玻璃基板進行旋轉的過程中，玻璃基板極易產生碎片的情況，而傳統技術中增設的光學感應器只能監測機臺上方是否存在玻璃基板，無法監測玻璃基板的破片情況，如果有破損的玻璃基板沒有被及時發現就進入下一道工序時，則會給生產造成不利影響，進而給生產造成損失。?

中國專利(CN202594969U)公開了一種改善膜層厚度不均的玻璃基板旋轉臺，包括擋板外框，位于擋板外框內的旋轉大盤，位于擋板外框和旋轉大盤中心的臺板旋轉軸，固定在臺板旋轉軸上的方形臺板；所述方形臺板的尺寸略小于玻璃基板的尺寸，所述方形臺板的邊緣設有吸附孔，用于吸附玻璃基板的圖像邊緣。?

但是在旋轉過程中，玻璃基板可能受到旋轉時離心力的作用容易產生偏移甚至破片，該文獻也并沒有提及如何來對玻璃基板的完好性進行實時監測，如果操作人員也無法及時獲悉基板的異常狀態，異常的基板就會直接進入下一工序，進而給工藝生產造成更大損失。?

實用新型內容

本實用新型根據傳統技術無法對基板完整性進行監測的不足，提供了一種基板監測裝置，通過在旋轉機臺上設置有壓力感應器，在將玻璃基板放置在機臺上時，壓力感應器與玻璃基板相接觸，如果玻璃基板一旦產生偏移或者破片，壓力感應器無法接收到來自玻璃基板正常的接觸反饋，通過連接報警裝置通過操作人員進行排查，避免產生異常的玻璃基板進入下一工序，進而造成更大的生產損失。?

本實用新型采用的技術方案為：?

一種基板監測裝置，包括一設置于旋轉腔體中的旋轉機臺，其特征在于，所述旋轉機臺包括一底座，位于所述底座上垂直設置多個有定位結構及支撐柱，所述支撐柱用于支撐基板，所述定位結構用于基板的固定防止基板產生偏移；?

部分所述定位結構和/或支撐柱設置有傳感器，每個所述傳感器均與所述基板相接觸，用于監測所述基板對所述定位結構和/或支撐柱產生的壓力。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述傳感器在所述機臺靜止時和機臺轉動時分別設置有不同的壓力接觸感測值范圍來對基板進行監測。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述旋轉機臺設置有多根延伸臂，所述定位結構均設置于所述延伸臂末端，且該定位結構為固定銷。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述傳感器設置于所述固定銷上和/或支撐柱的頂部表面。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，相鄰所述延展臂之間設置有多根延伸桿。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述延伸桿的長度小于所述延展臂的長度。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述延展臂關于所述底座中心對稱，且所述延伸桿關于所述底座中心對稱。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述支撐柱的頂端低于所述固定銷的頂端。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述底座中心處設置有一傳感器。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，所述傳感器為壓力感應器或非接觸式光學感應器。?

上述的基板監測裝置，其特征在于，各所述傳感器均與一報警裝置相連。?