[實用新型]玻璃基板監測裝置有效
| 申請號： | 201420093928.4 | 申請日： | 2014-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN203833166U | 公開（公告）日： | 2014-09-17 |
| 發明（設計）人： | 劉峻承;譚莉;曾瑞軒;林信安;黃于維;林志明 | 申請（專利權）人： | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號： | B65G43/00 | 分類號： | B65G43/00;G01L1/00;G01L1/24 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201506 上海市金山*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃 監測 裝置 | ||
1.一種基板監測裝置，包括一設置于旋轉腔體中的旋轉機臺，其特征在于，所述旋轉機臺包括一底座，位于所述底座上垂直設置有多個定位結構及支撐柱，所述支撐柱用于支撐基板，所述定位結構用于防止基板產生偏移；
部分所述定位結構和/或支撐柱設置有傳感器，用于監測所述基板對所述定位結構和/或支撐柱產生的壓力。
2.如權利要求1所述的基板監測裝置，其特征在于，所述傳感器在所述機臺靜止時和機臺轉動時分別設置有不同的壓力接觸感測值范圍來對基板進行監測。
3.如權利要求1所述的基板監測裝置，其特征在于，所述機臺設置有多根延伸臂，所述定位結構均設置于所述延伸臂末端，且該定位結構包括多個定位銷。
4.如權利要求3所述的基板監測裝置，其特征在于，所述傳感器設置于所述定位銷上和/或支撐柱的頂部。
5.如權利要求1所述的基板監測裝置，其特征在于，相鄰所述延展臂之間設置有多根延伸桿。
6.如權利要求3所述的基板監測裝置，其特征在于，所述延伸桿的長度小于所述延展臂的長度。
7.如權利要求6所述的基板監測裝置，其特征在于，所述支撐柱的頂端低于所述固定銷的頂端。
8.如權利要求1所述的基板監測裝置，其特征在于，所述底座中心處設置有一傳感器。
9.如權利要求1或8所述的基板監測裝置，其特征在于，所述傳感器為壓力感應器或非接觸式光學感應器。
10.如權利要求9所述的基板監測裝置，其特征在于，各所述傳感器均與一報警裝置相連。
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