[實用新型]一種用于MOCVD設備的固體顆粒物過濾器

有效

• 申請號: 201420091896.4
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN203724930U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 陳奉順;張飛;張家宏;卓昌正;林兓兓
• 申請（專利權）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號: B01D46/52
• 分類號: B01D46/52
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型主要涉及過濾裝置領域，特別涉及一種用于MOCVD設備外延（Epitaxy）制程中的尾氣顆粒過濾系統中的顆粒過濾器。

背景技術

MOCVD設備在外延（Epitaxy）制程過程中會產生大量細小的顆粒，該顆粒為????????????????????????????????????????????????族元素的高純金屬有機化合物（MO源）和族元素的氫化物經過高溫、低壓反應產生的易燃、易爆、高溫、高腐蝕性的固體顆粒。普通的顆粒過濾器使用壽命短，維護頻繁，且易造成反應腔與尾氣管路（reactor）壓差值不穩定，難以穩定控制外延（Epitaxy）制程中反應腔內的壓力等問題。

目前行業內氣體過濾芯均采用雙筒或兩級過濾，用于實現尾氣過濾，但此設計存在以下缺陷：（1）雙筒濾芯兩只濾芯通過的氣流不均勻；KF接頭連接使用過多，密封面多，真空度難以保證；拆裝、維護過程復雜，濾芯安裝困難、使用成本高；（2）濾芯主要采用網狀金屬絲或紙質材質，無法重復利用，且紙質濾芯的強度差，容易在使用中破損，容易造成后端的節流閥（碟閥）和制程Pump（泵）的嚴重損壞；（3）兩級濾芯的空間利用率低，過濾面積有限，濾芯使用過程中反應腔（Reactor）與尾氣管路之間壓差值變化大，不利于外延制程的控制；（4）前后兩級多級的濾芯，難以平均使用前后兩級的功能，即常常會發生前級完全堵塞而后級濾芯還很干凈的情況，后級濾芯根本沒有起到有效過濾的作用，濾芯的利用率低。

發明內容

為了克服上述現有設計的不足，本實用新型旨在提供一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，以有效過濾外延（Epitaxy）制程中尾氣中夾雜的大量固體顆粒，且該過濾器的濾芯可清洗，可重復利用，有效降低使用成本；同時，可根據MOCVD設備過濾器腔體的大小進而更改濾芯的直徑、折數和折長等，適用性強。

本實用新型的技術方案為：一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，包括：過濾器本體、設于側壁的進氣口、頂端的出氣口及濾芯，該濾芯上下表面有濾芯密封圈密封并安裝在濾芯固定座上，且由螺桿支撐架、螺桿和螺帽固定，后端安裝有固定蓋板；最終該濾芯通過密封法蘭固定于過濾器殼體內；其中所述濾芯為單筒、單支結構。

優選的，所述過濾芯的材質為耐高溫的玻璃纖維。

優選的，所述濾芯表面采用金屬窄條對其加固，降低使用過程中氣流對濾芯表面沖擊，增加濾芯表面強度。

優選的，所述濾芯褶皺數為70-90折，單折寬度3-5cm，高度H為70-78cm。

優選的，所述濾芯采用單根螺紋桿固定。

優選的，所述濾芯兩端分別由兩條波浪形設計的密封圈直接粘附于濾芯兩端進行密封。

優選的，所述濾芯入口段接于MOCVD設備反應腔的后端，出口連接于碟閥及機臺的制成泵之前。

本實用新型至少具有以下有益效果：本實用新型采用單只耐高溫材質的濾芯，可以有效過濾外延制程中生成的固體顆粒物；且使用壽命長，使用過程中反應腔（Reactor）與尾氣管路壓差值穩定，便于精準控制反應腔壓力，同時濾芯可清洗，可重復利用，有效降低使用成本；此外，本實用新型無需對外延生產機臺進行設備及管路的改造，兼容性強。

附圖說明

圖1為本實用新型中的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器的結構示意圖。

圖2?為本實用新型中的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器濾芯側視示意圖。

圖3?為本實用新型中的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器濾芯密封圈示意圖。

元件標號說明

1?：過濾器本體

2?：進氣口

3：出氣口

4?：濾芯

5?：濾材

6?：前級密封法蘭

7：中級密封法蘭

8：后級密封法蘭

9：固定環

10：固定座

11?：?螺桿

12：螺桿支撐架

13?：螺帽

14?：固定蓋板

15：密封圈

16?：密封圈波浪形密封面。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施案例對本實用新型作進一步的詳細描述，有關本實用新型的相關技術內容、特點和功效，將可以清楚的呈現。