[實用新型]一種用于MOCVD設備的固體顆粒物過濾器有效
| 申請號： | 201420091896.4 | 申請日： | 2014-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN203724930U | 公開（公告）日： | 2014-07-23 |
| 發明（設計）人： | 陳奉順;張飛;張家宏;卓昌正;林兓兓 | 申請（專利權）人： | 安徽三安光電有限公司 |
| 主分類號： | B01D46/52 | 分類號： | B01D46/52 |
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| 地址： | 241000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 mocvd 設備 固體 顆粒 過濾器 | ||
1.一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，包括過濾器本體、設于側壁的進氣口、頂端的出氣口及濾芯，該濾芯上下表面有濾芯密封圈密封并安裝在濾芯固定座上，且由螺桿支撐架、螺桿和螺帽固定，后端安裝有固定蓋板，該濾芯通過密封法蘭固定于過濾器殼體內，其特征在于：所述濾芯為單筒、單支結構。
2.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述濾芯采用耐高溫玻璃纖維制成。
3.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述濾芯的褶皺數為70-90折。
4.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述濾芯的單折寬度L為3-5cm。
5.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述濾芯的高度H為70-78cm。
6.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述濾芯表面采用金屬固定環對其加固，降低使用過程中氣流對濾芯表面沖擊，增加濾芯表面強度。
7.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述螺桿采用單根螺紋桿。
8.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述濾芯兩端的密封圈為兩條波浪形設計的密封圈，且直接粘附于濾芯兩端進行密封。
9.根據權利要求1所述的一種用于?MOCVD設備的固體顆粒物過濾器，其特征在于：所述濾芯入口段接于MOCVD設備反應腔的后端，出口連接于碟閥及機臺的制成泵之前。
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