[實用新型]石墨模具涂層加工設備

有效

• 申請號: 201420091348.1
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN203728925U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 邵長濤
• 申請（專利權）人: 青島金時特碳素有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/26;C04B41/87
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種石墨模具涂層加工設備，其特征在于，包括至少一個真空爐，所述真空爐連接有用于抽真空的真空泵、用于給真空爐內輸送氧氣的氧氣瓶和用于給真空爐輸送丙烷氣體的丙烷氣瓶；每個真空爐內設置有用于加熱爐內氣體與石墨模具的銅排，所述銅排通過導線與整流柜連接。

2.根據權利要求1所述的石墨模具涂層加工設備，其特征在于，所述真空泵連接有主管道，所述主管道上連通有若干與每個真空爐對應的分管道，每個分管道分別對應與每個真空爐連通。

3.根據權利要求1所述的石墨模具涂層加工設備，其特征在于，在每個分管道上分別設置有氣閥。

4.根據權利要求1所述的石墨模具涂層加工設備，其特征在于，每個真空爐上安裝有一塊氣壓表。