[實(shí)用新型]一種襯底固定夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420086513.4
• 申請(qǐng)日: 2014-02-27
• 公開（公告）號(hào): CN203871310U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鞏鋒;王春生;王經(jīng)緯;趙會(huì)崧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十一研究所
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 工業(yè)和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 張蕾

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種襯底固定夾具。?

背景技術(shù)

目前，紅外焦平面技術(shù)正向著大陣列、雙多色等三代焦平面技術(shù)方向發(fā)展。在眾多焦平面探測(cè)器中，基于碲鎘汞材料的焦平面探測(cè)器由于其具有較高的量子效率、波段在全譜段可調(diào)等諸多優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用。?

焦平面探測(cè)器涉及外延生長(zhǎng)技術(shù)，采用與碲鎘汞材料晶格匹配的碲鋅鎘作為襯底是最優(yōu)選擇。在外延生長(zhǎng)工藝中，分子束外延技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)雙多色材料外延，且材料均勻性較好。但是，在分子束外延技術(shù)中，襯底的固定(或粘結(jié))方式是其中一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。因?yàn)椋诓牧仙L(zhǎng)過程中，包括進(jìn)樣室預(yù)處理、緩沖室預(yù)處理、腔室預(yù)處理、二次緩沖層生長(zhǎng)等多個(gè)步驟，過程中又伴隨著多次高溫處理，同時(shí)在碲鎘汞材料生長(zhǎng)過程中對(duì)溫度的均勻性要求極高。這就要求固定襯底的夾具必須操作簡(jiǎn)單，便于安裝和摘取，然而，現(xiàn)有的襯底固定夾具不具有操作簡(jiǎn)單，便于安裝和摘取的特點(diǎn)，造成材料生長(zhǎng)過程受熱不均等現(xiàn)象的發(fā)生。?

實(shí)用新型內(nèi)容

基于上述問題，本實(shí)用新型提供了一種襯底固定夾具，用以解決現(xiàn)有技術(shù)的襯底固定夾具操作復(fù)雜、不易于安裝和摘取的問題。?

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案來解決的。?

本實(shí)用新型提供一種襯底固定夾具，所述襯底固定夾具包括：固定板、L?型壓板、螺釘；其中：在所述固定板中至少設(shè)置兩個(gè)螺孔；所述L型壓板長(zhǎng)邊所在的面設(shè)置供螺釘穿過的開孔；所述L型壓板短邊與所述固定板接觸；將所述L型壓板固定在所述固定板背面上。?

其中，在所述固定板上設(shè)置直角形凸起；所述直角形凸起的兩條邊與襯底相接觸，所述襯底位于所述固定板的中心位置。?

其中，所述直角形凸起的高度小于或等于所述襯底高度的一半。?

其中，所述L型壓板短邊的長(zhǎng)度等于襯底的高度。?

其中，所述L型壓板上的開孔的形狀是矩形與半圓形所組成的組合形狀。?

其中，所述固定板為圓形，所述固定板的邊緣包含環(huán)狀臺(tái)階。?

其中，在所述固定板正面圓心處設(shè)置半圓形凹槽。?

其中，所述固定板、L型壓板和螺釘?shù)牟牧蠟槭?

本實(shí)用新型有益效果如下：?

本實(shí)用新型引入固定板和L型壓板來固定襯底，在材料外延生長(zhǎng)過程中操作簡(jiǎn)單，方便安裝和摘取。?

附圖說明

圖1是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的襯底固定夾具的結(jié)構(gòu)圖；?

圖2是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的襯底固定夾具螺釘?shù)氖疽鈭D；?

圖3是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的襯底固定夾具L型壓板的示意圖；?

圖4是根據(jù)本實(shí)用新型另一實(shí)施例的襯底固定夾具的結(jié)構(gòu)圖。?

具體實(shí)施方式

為了解決現(xiàn)有技術(shù)襯底固定夾具操作復(fù)雜、不易于安裝和摘取的問題，本實(shí)用新型提供了一種襯底固定夾具，以下結(jié)合附圖以及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不限定本實(shí)用新型。?

如圖1所示，圖1是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的襯底固定夾具的結(jié)構(gòu)圖。?

襯底固定夾具包括固定板、L型壓板、螺釘。?

在固定板中至少設(shè)置兩個(gè)螺孔。L型壓板長(zhǎng)邊所在的面設(shè)置供螺釘穿過的開孔。L型壓板短邊與固定板接觸。將L型壓板固定在固定板上。?

具體而言，將襯底置于固定板背面上，通過L型壓板將襯底固定在固定板上。在固定板中，螺孔設(shè)置的位置應(yīng)當(dāng)保證襯底能夠以對(duì)稱的方式被固定在固定板上。L型壓板短邊立于固定板上，長(zhǎng)邊搭在襯底邊緣。利用螺釘將L型壓板和襯底固定在所述固定板背面上。具體而言，使螺釘穿過L型壓板開孔并安裝在螺孔中，將L型短邊立在固定板上，長(zhǎng)邊壓板搭在襯底上，使襯底定位并固定在固定板表面。圖2是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的襯底固定夾具螺釘?shù)氖疽鈭D。?

圖3是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的襯底固定夾具L型壓板的示意圖，L型壓板中的開孔的形狀是矩形與半圓形所組成的組合形狀，例如：在矩形兩端附加半圓形所形成的組合形狀。該組合形狀可以使螺釘在開孔內(nèi)移動(dòng)，使L型壓板可以在活動(dòng)范圍內(nèi)適應(yīng)不同尺寸的襯底。L型壓板短邊的長(zhǎng)度等于襯底的高度，以此保證在固定襯底的同時(shí)不引入額外的應(yīng)力。?