[實(shí)用新型]一種襯底固定夾具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420086513.4 | 申請(qǐng)日： | 2014-02-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203871310U | 公開（公告）日： | 2014-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鞏鋒;王春生;王經(jīng)緯;趙會(huì)崧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十一研究所 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/687 | 分類號(hào)： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 工業(yè)和信息化部電子專利中心 11010 | 代理人： | 張蕾 |
| 地址： | 100015*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 襯底 固定 夾具 | ||
1.一種襯底固定夾具，其特征在于，所述襯底固定夾具包括：固定板、L型壓板、螺釘；其中：
在所述固定板中至少設(shè)置兩個(gè)螺孔；
所述L型壓板長(zhǎng)邊所在的面設(shè)置供螺釘穿過(guò)的開孔；
所述L型壓板短邊與所述固定板接觸；
將所述L型壓板固定在所述固定板背面上。
2.如權(quán)利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：
在所述固定板上設(shè)置直角形凸起；
所述直角形凸起的兩條邊與襯底相接觸，所述襯底位于所述固定板的中心位置。
3.如權(quán)利要求2所述的襯底固定夾具，其特征在于，所述直角形凸起的高度小于或等于所述襯底高度的一半。
4.如權(quán)利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：所述L型壓板短邊的長(zhǎng)度等于襯底的高度。
5.如權(quán)利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：所述L型壓板上的開孔的形狀是矩形與半圓形所組成的組合形狀。
6.如權(quán)利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：所述固定板為圓形，所述固定板的邊緣包含環(huán)狀臺(tái)階。
7.如權(quán)利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：在所述固定板正面圓心處設(shè)置半圓形凹槽。
8.如權(quán)利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于，所述固定板、L型壓板和螺釘?shù)牟牧蠟槭?/p>
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
