[實用新型]一種襯底固定夾具

有效

• 申請號: 201420086513.4
• 申請日: 2014-02-27
• 公開（公告）號: CN203871310U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 鞏鋒;王春生;王經緯;趙會崧
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 張蕾

1.一種襯底固定夾具，其特征在于，所述襯底固定夾具包括：固定板、L型壓板、螺釘；其中：

在所述固定板中至少設置兩個螺孔；

所述L型壓板長邊所在的面設置供螺釘穿過的開孔；

所述L型壓板短邊與所述固定板接觸；

將所述L型壓板固定在所述固定板背面上。

2.如權利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：

在所述固定板上設置直角形凸起；

所述直角形凸起的兩條邊與襯底相接觸，所述襯底位于所述固定板的中心位置。

3.如權利要求2所述的襯底固定夾具，其特征在于，所述直角形凸起的高度小于或等于所述襯底高度的一半。

4.如權利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：所述L型壓板短邊的長度等于襯底的高度。

5.如權利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：所述L型壓板上的開孔的形狀是矩形與半圓形所組成的組合形狀。

6.如權利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：所述固定板為圓形，所述固定板的邊緣包含環狀臺階。

7.如權利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于：在所述固定板正面圓心處設置半圓形凹槽。

8.如權利要求1所述的襯底固定夾具，其特征在于，所述固定板、L型壓板和螺釘的材料為石墨。