[實用新型]一種機臺管路進水的偵測報警裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420084195.8
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN204036232U
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋愷;張弢;蔣德念
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;G01F15/06
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 吳俊

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種偵測裝置的制造領(lǐng)域，尤其涉及一種機臺管路進水的偵測報警裝置。

背景技術(shù)

在工程師進行機臺維護更換研磨頭（head）的時候，有時由于工程的疏忽未將head上積水擦干就將head裝入軸（spindle），以鏈接馬達(dá)（motor），當(dāng)head升起時便會將積水吸進抽真空管路（Vac）。Head的密封圈由于長期的使用磨損，有時會出現(xiàn)細(xì)微的破裂，以致head在Vac時會將水抽進管路中。以上的兩種現(xiàn)象都會使Vac管路有略微的積水，但可能不會影響head將硅片吸附至研磨頭上（load）、將硅片從研磨頭上卸下（unload）、重復(fù)將硅片吸附至研磨頭上（decheck），也不會引起機臺錯誤偵測分類系統(tǒng)（FDC）系統(tǒng)的報警，只有當(dāng)Vac管路中的積水到達(dá)一定程度時，head?Vac讀值已經(jīng)降低至低規(guī)格（low?spec），才會使得機臺產(chǎn)生報警（alarm），或是晶圓損壞（wafer?broken），但已為時已晚。

專利號為201020187396.2的管路漏損偵測裝置，包含：一流量計，裝設(shè)在一計量分區(qū)進水點的管路上；一高解析流量記錄儀，通過線路或采無線傳輸方式與該流量計連接；及一運算分析機具。該方案通過高解析流量記錄儀直接針對流量計所產(chǎn)生的連續(xù)性變化物理量，得到該管路真實瞬間流量特征值的連續(xù)性記錄。但在使用時，無法及時向工程師告知進水Vac管路。

專利號為200710190433.8的液體管路流量偵測報警裝置，包括液體管路流量偵測裝置，所述的液體管路流量偵測裝置用于測量并顯示管路中的液體流量值；報警裝置，所述的報警裝置與所述的液體管路流量偵測裝置相通信，所述的報警裝置用于在液體流量值高于設(shè)定的上限值或低于設(shè)定的下限值時發(fā)生報警信號。該方案偵測的是液體管路中的液體流量，并非用于偵測管路的水滴問題。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述問題，本實用新型提供一種機臺管路進水的偵測報警裝置。

本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：

一種機臺管路進水的偵測報警裝置，應(yīng)用于機臺上部充氣裝置的真空管路中，其中，包括：研磨頭，所述研磨頭可升降地與一馬達(dá)連接；氣閥，所述氣閥安裝在所述馬達(dá)的上端；抽真空管路，所述抽真空管路與所述氣閥相連接；以及流量偵測器，所述流量偵測器安裝在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量偵測器與一外置機臺信號連接。

上述的一種機臺管路進水的偵測報警裝置，其中，還包括數(shù)字信號模板，所述流量偵測器與所述數(shù)字信號模板信號連接，所述數(shù)字信號模板與所述外置機臺信號連接。

上述的一種機臺管路進水的偵測報警裝置，其中，所述外置機臺中安裝有設(shè)定警報的軟件程序。

上述的一種機臺管路進水的偵測報警裝置，其中，所述研磨頭與所述馬達(dá)之間具有軸，所述研磨頭通過所述軸與所述馬達(dá)的下端連接。

上述的一種機臺管路進水的偵測報警裝置，其中，所述研磨頭與所述軸之間具有密封圈。

上述的一種機臺管路進水的偵測報警裝置，其中，所述流量偵測器為一個或多個流量傳感器。

上述的一種機臺管路進水的偵測報警裝置，其中，所述報警裝置還包括一十字旋轉(zhuǎn)軸蓋板，所述十字旋轉(zhuǎn)軸蓋板位于所述流量偵測器的外部。

上述的一種機臺管路進水的偵測報警裝置，其中，所述報警裝置還包括一十字旋轉(zhuǎn)軸研磨裝置，所述十字旋轉(zhuǎn)軸研磨裝置的頂端設(shè)置有所述信號模板。

上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果：

通過在head?UPA?Vac管壁外安裝流量偵測器（flow?sensor），由于流量偵測器安裝在十字旋轉(zhuǎn)軸蓋板（cross?cover）的內(nèi)部，因此對機臺的工藝沒有影響，同時，將十字旋轉(zhuǎn)軸蓋板的信號線接入十字旋轉(zhuǎn)軸研磨裝置（polish?cross）頂端的數(shù)字信號模板，并在機臺的軟件報警觸發(fā)選項（software?user?event）中設(shè)定報警（alarm?action）。只要Vac管路中有水滴進入，流量偵測器發(fā)出“on”信號觸發(fā)機臺端報警，以便讓工程師知道清楚進水的Vac管路，及時處理，避免機臺的隱患。

附圖說明

參考所附附圖，以更加充分的描述本實用新型的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構(gòu)成對本實用新型范圍的限制。

圖1是本實用新型一種機臺管路進水的偵測報警裝置的示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為本實用新型的限定。