[實(shí)用新型]一種機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420084195.8 | 申請(qǐng)日： | 2014-02-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN204036232U | 公開（公告）日： | 2014-12-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 宋愷;張弢;蔣德念 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/34 | 分類號(hào)： | B24B37/34;G01F15/06 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 機(jī)臺(tái) 管路 進(jìn)水 偵測(cè) 報(bào)警裝置 | ||
1.一種機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置，應(yīng)用于機(jī)臺(tái)上部充氣裝置的真空管路中，其特征在于，包括：?
研磨頭，所述研磨頭可升降地與一馬達(dá)連接；?
氣閥，所述氣閥安裝在所述馬達(dá)的上端；?
抽真空管路，所述抽真空管路與所述氣閥相連接；以及?
流量偵測(cè)器，所述流量偵測(cè)器安裝在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量偵測(cè)器與一外置機(jī)臺(tái)信號(hào)連接。?
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于，還包括數(shù)字信號(hào)模板，所述流量偵測(cè)器與所述數(shù)字信號(hào)模板信號(hào)連接，所述數(shù)字信號(hào)模板與所述外置機(jī)臺(tái)信號(hào)連接。?
3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于，所述研磨頭與所述馬達(dá)之間具有軸，所述研磨頭通過所述軸與所述馬達(dá)的下端連接。?
4.如權(quán)利要求3所述的機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于，所述研磨頭與所述軸之間具有密封圈。?
5.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于，所述流量偵測(cè)器為一個(gè)或多個(gè)流量傳感器。?
6.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于，所述報(bào)警裝置還包括一十字旋轉(zhuǎn)軸蓋板，所述十字旋轉(zhuǎn)軸蓋板位于所述流量偵測(cè)器的外部。?
7.如權(quán)利要求2所述的機(jī)臺(tái)管路進(jìn)水的偵測(cè)報(bào)警裝置，其特征?在于，所述報(bào)警裝置還包括一十字旋轉(zhuǎn)軸研磨裝置，所述十字旋轉(zhuǎn)軸研磨裝置的頂端設(shè)置有所述信號(hào)模板。?
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