[實用新型]一種氣相沉積爐

有效

• 申請號: 201420084163.8
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN204417591U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 孫豐武;周明明
• 申請（專利權）人: 青島持久高新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C14/54
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 鄭自群

技術領域

本實用新型涉及真空氣相沉積系統領域，特別涉及一種氣相沉積爐。

背景技術

氣相沉積爐是將沉積源引入沉積爐內，然后加熱到一定工藝溫度，在真空泵抽氣系統產生的引力作用下，將沉積源引至沉積室，然后加熱到一定工藝溫度，使沉積源沉積在沉積室內的工件上，從而在工件上產生一層沉積源膜，為了得到工藝要求的厚度，此沉積過程一般需連續工作20天左右。為了制備出高質量的產品，沉積過程不僅要求在非常潔凈的環境下進行，且要求沉積過程連續正常進行，此過程中如果溫度出現異常，將會出現產品質量問題，而現有技術中的沉積爐在爐內溫度出現異常時往往得不到及時發現，從而造成更多產品出現質量問題，進而給企業造成很大的經濟損失。

實用新型內容

針對上述現有技術中存在的問題，本實用新型旨在提供一種能實時監控爐內溫度的氣相沉積爐，使用本實用新型能夠及時發現和調整爐內異常狀況從而降低經濟損失。

為了實現上述目的，本實用新型采取如下技術方案：

一種氣相沉積爐，包括爐體、加熱系統、保護筒和控制柜，所述爐體底部設置有沉積源進口，用來向爐內提供沉積材料，所述沉積源進口的上方連接有通道，所述通道用于沉積源進入爐體內，

所述通道頂部連接有保護筒，通道和保護筒連接處設有擱件板，所述擱件板用于放置工件，所述保護筒可以防止工件從擱件板上掉落和沉積源泄露。

所述擱件板上設有通孔，所述通孔用于沉積源從通道進入保護筒內。

所述保護筒的周圍設置有與控制柜連接的加熱系統，用來給沉積爐提供熱源，給工件和爐腔加熱，使爐腔溫度達到1000-1500℃左右。

所述爐體內設有內置的冷卻系統，所述冷卻系統連接控制柜。

所述爐體的上部設有廢氣出口，用來對沉積爐抽真空和排放廢氣。

所述控制柜用于控制沉積爐的操作，所述控制柜上設有顯示屏，所述顯示屏能夠實時顯示爐內的溫度，以便工作人員隨時監視和調控爐內溫度，從而生產出更高質量的產品。

進一步的，所述爐體內側設置有保溫層，所述保溫層可以對爐內的溫度起到保溫的作用。

進一步的，所述沉積源進口上設有流量控制器。

進一步的，所述爐體下方設有溫度控制器，所述溫度控制器連接控制柜，從而能夠通過控制柜控制爐內溫度。

進一步的，所述沉積源進口位于爐底中部。

進一步的，所述通道上端口大于下端口，縱剖圖形狀近似“V”形。

通過此氣相沉積爐，在真空、高溫環境下，通過氣相沉積，使氣態的沉積材料沉積在工件表面，形成一層保護膜。從而工件涂上保護膜后，增強了工件的耐磨性、提高工件的耐高溫、抗氧化性。

本實用新型的有益效果為：通過設置顯示屏，從而能夠實時監控爐內溫度、及時發現爐內異常狀況；通過設置溫度控制器和控制柜，能夠隨時調整爐內異常狀況從而降低經濟損失。

附圖說明

圖1為置物板展開狀態本實用新型結構示意圖

圖中標記：1-爐體，2-保溫層，3-加熱系統，4-沉積源進口，5-擱件板，6-保護筒，7-廢氣出口，8-V型口，9-流量控制器，10-溫度控制器，11-控制柜，12-顯示屏。

具體實施方式

為了便于理解，下面結合附圖，通過實施例，對本實用新型技術方案作進一步具體描述：

如圖1所示，一種氣相沉積爐，包括爐體1、保溫層2、加熱系統3、沉積源進口4、廢氣出口7和控制柜11。

所述爐體1內側設置有保溫層2，可以對爐內的溫度起到保溫的作用；在爐體1底部中間設置有沉積源進口4，用來向爐內供沉積材料；在沉積源進口4的上方連接有V型通道8，沉積源進口4上設有流量控制器9。

V型通道8的上部設置有擱件板5，擱件板5上設置有保護筒6，可以把工件放到擱件板5上來進行氣相沉積，保護筒6可以對工件起到保護作用，同時防止氣相沉積材料泄露；

所述爐體1內設有內置的冷卻系統。

所述爐體1的上部設有廢氣出口7，用來對沉積爐抽真空和排放廢氣。

所述在保護筒6的周圍設置有加熱系統3，用來給沉積爐提供熱源，給工件和爐腔加熱，使爐腔溫度達到1000-1500℃左右。

爐體1下方設有溫度控制器10，所述溫度控制器連接控制柜11，溫度控制器10通過控制柜11控制爐內溫度，所述控制柜11上設有顯示屏12，所述顯示屏12能夠實時顯示爐內的溫度。

上述實施例只是對本實用新型技術方案的舉例說明或解釋，而不應理解為對本實用新型技術方案的限制，顯然，本領域的技術人員可對本實用新型進行各種修改和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。倘若這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也包含這些修改和變型在內。