[實用新型]一種氣相沉積爐

有效

• 申請號: 201420084163.8
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN204417591U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 孫豐武;周明明
• 申請（專利權）人: 青島持久高新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C14/54
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 鄭自群

1.一種氣相沉積爐，包括爐體、加熱系統、保護筒和控制柜，所述爐體底部設置有沉積源進口，所述沉積源進口的上方連接有通道，所述通道頂部連接有保護筒，通道和保護筒連接處設有擱件板，所述擱件板上設有通孔；

所述保護筒的周圍設置有與控制柜連接的加熱系統，用來給沉積爐提供熱源，給工件和爐腔加熱，使爐腔溫度達到1000-1500℃；

所述爐體內設有內置的冷卻系統，所述冷卻系統連接控制柜；所述爐體的上部設有廢氣出口；

所述控制柜用于控制沉積爐的操作，所述控制柜上設有顯示屏，所述顯示屏能夠實時顯示爐內的溫度。

2.根據權利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于：所述爐體內側設置有保溫層。

3.根據權利要求2所述的氣相沉積爐，其特征在于：所述沉積源進口位于爐底中部。

4.根據權利要求3所述的氣相沉積爐，其特征在于：所述通道上端口大于下端口，縱剖圖形狀為“V”形。