[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420078816.1
• 申請(qǐng)日: 2014-02-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203754804U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 晏雙利
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中科聯(lián)碳（北京）科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/27
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/27
• 代理公司: 北京金智普華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11401
• 代理人: 皋吉甫

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于化學(xué)氣相沉積金剛石領(lǐng)域，特別是涉及熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

利用熱絲化學(xué)氣相沉積方法制備金剛石膜(厚膜或涂層)時(shí)(即CVD金剛石)，必須要用到加熱絲(鉭絲或鎢絲)。在使用時(shí)，熱絲要由一個(gè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行固定，同時(shí)要求在真空爐中加熱這個(gè)熱絲時(shí)，熱絲必須要能夠保持平直、繃緊，這對(duì)金剛石的生產(chǎn)至關(guān)重要。

中國(guó)專(zhuān)利CN20169508“一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)”，公開(kāi)了的熱絲張緊機(jī)構(gòu)包括第一橫梁、第二橫梁、兩根支撐條、一根橫條、固定電極、活動(dòng)電極、活動(dòng)螺釘及彈簧；第一橫梁與第二橫梁平行相對(duì)；固定電極一端帶鉤并固定在第一橫梁上；活動(dòng)電極兩端帶鉤，通過(guò)活動(dòng)螺釘安裝在第二橫梁上；支撐條和橫條固定形成固定架；彈簧一端連接在活動(dòng)電極上，另一端固定在橫條上。該熱絲張緊機(jī)構(gòu)在金剛石制備過(guò)程中，隨著電流增加，加熱絲由于被加熱而拉長(zhǎng)變形，但其變形量被彈簧所吸收，即可使加熱絲一直處于平直狀態(tài)。

該專(zhuān)利存在以下的問(wèn)題：熱絲張緊機(jī)構(gòu)的加熱絲在工作過(guò)程中，彈簧始終處于高溫環(huán)境中，容易產(chǎn)生疲勞變形，喪失彈性，使加熱絲不能保持平直狀態(tài)存；在安裝活動(dòng)電極時(shí)，需要在框架內(nèi)對(duì)每一根活動(dòng)電極都需要擰動(dòng)固定螺釘調(diào)節(jié)；而且該螺釘處于高溫條件下，極易產(chǎn)生銹蝕，操作困難；該結(jié)構(gòu)一次處理的電極個(gè)數(shù)有限，增加電極處理個(gè)數(shù)，例如，一次處理10-20根電極，必須掛載10-20根彈簧，造成機(jī)構(gòu)復(fù)雜，使用和調(diào)整不方便，給實(shí)際操作帶來(lái)一定的困難。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是要克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種使用效果好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，并能夠延長(zhǎng)張緊機(jī)構(gòu)的使用壽命的熱絲張緊機(jī)構(gòu)。

為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，提出以下技術(shù)方案：

一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述熱絲張緊機(jī)構(gòu)包括：

電極結(jié)構(gòu)，所述電極結(jié)構(gòu)包括固定電極5、活動(dòng)電極6和熱絲10；

電極固定結(jié)構(gòu)，所述電極固定結(jié)構(gòu)由第一橫梁1、第二橫梁2和滑動(dòng)塊7構(gòu)成；

張緊結(jié)構(gòu)，所述張緊結(jié)構(gòu)包括兩根支撐條3、一根橫條4、彈簧8和滑動(dòng)隔熱板11；其中，

所述第一橫梁1與第二橫梁2呈平行相對(duì)設(shè)置；兩根支撐條3縱向固定在第二橫梁2的兩端；兩根支撐條3的另外兩端與所述橫條4固定，所述第二橫梁2、支撐條3、橫條4形成穩(wěn)定的一個(gè)固定架結(jié)構(gòu)；

所述固定電極5的一端固定在第一橫梁1上，所述熱絲10之子形纏繞在固定電極5和活動(dòng)電極6相對(duì)兩端的掛鉤上；活動(dòng)電極6另一端通過(guò)活動(dòng)電極掛線13固定在滑動(dòng)隔熱板11上；所述滑動(dòng)隔熱板11通過(guò)彈簧8連接橫條4；所述滑動(dòng)隔熱板11可以在兩根支撐條3之間滑動(dòng)或被鎖定。

所述活動(dòng)電極6的中間結(jié)構(gòu)為長(zhǎng)方形槽9，所述第二橫梁2安裝滑動(dòng)塊7，所述長(zhǎng)方形槽9由滑動(dòng)塊7定位，并可以在滑動(dòng)塊7上水平往復(fù)滑動(dòng)。

所述彈簧8為兩根，分別安裝在滑動(dòng)隔熱板11上下兩端。

所述支撐條3中間部位開(kāi)上下貫通的槽，所述滑動(dòng)隔熱板11在該槽內(nèi)滑動(dòng)；所述滑動(dòng)隔熱板11兩端穿過(guò)支撐條3的貫通槽安裝鎖定螺釘14，控制滑動(dòng)隔熱板11的鎖定和滑動(dòng)。

所述固定電極5和活動(dòng)電極6分別為10根～20根，其排列間距為 10～20mm。

所述滑動(dòng)隔熱板11中間部位增加1根彈簧12。

所述活動(dòng)電極掛線13為直徑1-5MM鉬絲，所述滑動(dòng)塊7的材料為鎢或鉬。

所述第一橫梁1、第二橫梁2采用鎢桿或鉬桿；所述支撐條3和滑動(dòng)隔熱板11的材質(zhì)為耐高溫可加工絕緣陶瓷。

：所述橫條4材質(zhì)為鉬或不銹鋼。

所述固定電極5和活動(dòng)電極6的材料為鉭或鉬。

本實(shí)用新型的熱絲張緊機(jī)構(gòu)，能夠有效的將彈簧隔熱，提高彈簧的使用壽命，確保熱絲加熱拉長(zhǎng)變形時(shí)，其變形量始終被彈簧所吸收，保持平直狀態(tài)，同時(shí)，本實(shí)用新型簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)，僅需要一次調(diào)節(jié)就可以將多跟活動(dòng)電極調(diào)整到位，更適合一次使用多根電極的結(jié)構(gòu)，提高了工作效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例。

1第一橫梁 8拉緊彈簧

2第二橫梁 9長(zhǎng)方形槽

3支撐條 10熱絲

4橫條 11滑動(dòng)隔熱板

5固定電極 12穩(wěn)定彈簧

6活動(dòng)電極 13活動(dòng)電極掛線

7滑動(dòng)塊 14鎖緊螺釘