[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420078816.1 | 申請(qǐng)日: | 2014-02-24 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN203754804U | 公開(kāi)(公告)日: | 2014-08-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 晏雙利 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中科聯(lián)碳(北京)科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C16/27 | 分類號(hào): | C23C16/27 |
| 代理公司: | 北京金智普華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11401 | 代理人: | 皋吉甫 |
| 地址: | 100191 北京市海淀區(qū)塔*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 化學(xué) 沉積 金剛石 設(shè)備 使用 熱絲張緊 機(jī)構(gòu) | ||
1.一種化學(xué)氣相沉積金剛石設(shè)備中使用的熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述熱絲張緊機(jī)構(gòu)包括:
電極結(jié)構(gòu),所述電極結(jié)構(gòu)包括固定電極(5)、活動(dòng)電極(6)和熱絲(10);
電極固定結(jié)構(gòu),所述電極固定結(jié)構(gòu)由第一橫梁(1)、第二橫梁(2)和滑動(dòng)塊(7)構(gòu)成;
張緊結(jié)構(gòu),所述張緊結(jié)構(gòu)包括兩根支撐條(3)、一根橫條(4)、彈簧(8)和滑動(dòng)隔熱板(11);其中,
所述第一橫梁(1)與第二橫梁(2)呈平行相對(duì)設(shè)置;兩根支撐條(3)縱向固定在第二橫梁(2)的兩端;兩根支撐條(3)的另外兩端與所述橫條(4)固定,所述第二橫梁(2)、支撐條(3)、橫條(4)形成穩(wěn)定的一個(gè)固定架結(jié)構(gòu);
所述固定電極(5)的一端固定在第一橫梁(1)上,所述熱絲(10)之子形纏繞在固定電極(5)和活動(dòng)電極(6)相對(duì)兩端的掛鉤上;活動(dòng)電極(6)另一端通過(guò)活動(dòng)電極掛線(13)固定在滑動(dòng)隔熱板(11)上;所述滑動(dòng)隔熱板(11)通過(guò)彈簧(8)連接橫條(4);所述滑動(dòng)隔熱板(11)可以在兩根支撐條(3)之間滑動(dòng)或被鎖定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述活動(dòng)電極(6)的中間結(jié)構(gòu)為長(zhǎng)方形槽(9),所述第二橫梁(2)安裝滑動(dòng)塊(7),所述長(zhǎng)方形槽(9)由滑動(dòng)塊(7)定位,并可以在滑動(dòng)塊(7)上水平往復(fù)滑動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述彈簧(8)為兩根,分別安裝在滑動(dòng)隔熱板(11)上下兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述支撐條(3)中間部位開(kāi)上下貫通的槽,所述滑動(dòng)隔熱板(11)在該槽內(nèi)滑動(dòng);所述滑動(dòng)隔熱板(11)兩端穿過(guò)支撐條(3)的貫通槽安裝鎖定螺釘(14),控制滑動(dòng)隔熱板(11)的鎖定和滑動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述固定電極(5)和活動(dòng)電極(6)分別為10根~20根,其排列間距為10~20mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述滑動(dòng)隔熱板(11)中間部位增加1根彈簧(12)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述活動(dòng)電極掛線(13)為直徑1~5mm的鉬絲,所述滑動(dòng)塊(7)的材料為鎢或鉬。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述第一橫梁(1)、第二橫梁(2)采用鎢桿或鉬桿;所述支撐條(3)和滑動(dòng)隔熱板(11)的材質(zhì)為耐高溫可加工絕緣陶瓷。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述橫條(4)材質(zhì)為鉬或不銹鋼。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種熱絲張緊機(jī)構(gòu),其特征在于:所述固定電極(5)和活動(dòng)電極(6)的材料為鉭或鉬。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上,例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
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