[實用新型]一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420078805.3 | 申請日： | 2014-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN203705555U | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 楊雷;張建華 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安電爐研究所有限公司 |
| 主分類號： | G01R27/20 | 分類號： | G01R27/20 |
| 代理公司： | 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 710061 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 在線 化學 沉積 絕緣 判定 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統(tǒng)，其特征在于：
爐內(nèi)每一個加熱區(qū)的電阻帶及爐襯分別串聯(lián)一個多路轉(zhuǎn)換開關(guān)后并聯(lián)，再與電量變送器、變流電阻、單相降壓變壓器電源和爐殼串聯(lián)成閉環(huán)測試電路系統(tǒng)；
電量變送器接入智能數(shù)字儀表和報警提示系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統(tǒng)，其特征在于：
爐內(nèi)各加熱區(qū)的電阻帶及爐襯設置并聯(lián)的測試斷開位，測試斷開位串聯(lián)有多路轉(zhuǎn)換開關(guān)。
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