[實用新型]一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統有效
| 申請號： | 201420078805.3 | 申請日： | 2014-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN203705555U | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發明（設計）人： | 楊雷;張建華 | 申請（專利權）人： | 西安電爐研究所有限公司 |
| 主分類號： | G01R27/20 | 分類號： | G01R27/20 |
| 代理公司： | 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 710061 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 在線 化學 沉積 絕緣 判定 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統，其特征在于：
爐內每一個加熱區的電阻帶及爐襯分別串聯一個多路轉換開關后并聯，再與電量變送器、變流電阻、單相降壓變壓器電源和爐殼串聯成閉環測試電路系統；
電量變送器接入智能數字儀表和報警提示系統。
2.根據權利要求1所述的一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統，其特征在于：
爐內各加熱區的電阻帶及爐襯設置并聯的測試斷開位，測試斷開位串聯有多路轉換開關。
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