[實用新型]一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統

有效

• 申請號: 201420078805.3
• 申請日: 2014-02-25
• 公開（公告）號: CN203705555U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 楊雷;張建華
• 申請（專利權）人: 西安電爐研究所有限公司
• 主分類號: G01R27/20
• 分類號: G01R27/20
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 李罡

技術領域

????本實用新型涉及光伏及新材料技術領域，具體涉及一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統。

背景技術

在現有C/C行業的化學氣相沉積爐中，由于生產工藝過程中需要向內罐充丙烯及甲烷等可燃性氣體，此氣體在高溫下分解形成部分碳分子，不可避免的從罐內反到罐外加熱室，很容易造成電阻帶碳化及保溫爐襯滲碳，長時間積累會導致電阻帶及爐襯對地絕緣電阻大大降低，甚至電阻帶熔斷。

目前常見的化學氣相沉積爐加熱室反碳程度判定方法，在加熱室與馬弗罐內分別設置壓力傳感器，根據內外壓差和真空度，綜合工藝特點設定壓差儀表的報警數值，提示并判斷反碳程度是否超標。若超標，通過人為手段調節充氣量或更換真空泵，甚至停爐檢修清理真空管道。這種方法往往不能真實反映加熱室內反碳情況，尤其在檢修清理后對電阻帶及爐襯的積炭程度無法估計，經常因處理不及時、不徹底，造成電阻帶及爐襯的損壞，造成巨大的經濟損失。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種能準確反映化學氣相沉積爐加熱室反碳程度的在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統。

本實用新型所采用的技術方案是：

一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統，其特征在于：

爐內每一個加熱區的電阻帶及爐襯分別串聯一個多路轉換開關后并聯，再與電量變送器、變流電阻、單相降壓變壓器電源和爐殼串聯成閉環測試電路系統；

電量變送器接入智能數字儀表和報警提示系統。

爐內各加熱區的電阻帶及爐襯設置并聯的測試斷開位，測試斷開位串聯有多路轉換開關。

本實用新型具有以下優點：

本實用新型是由變流電阻、單相變壓器、電量變送器、多路轉換開關、數值顯示報警儀表，爐膛加熱體及爐襯、爐殼組成一個閉環測試電路系統，通過該系統測試出某區變流電阻電流信號，可在線通過程序控制使調功器間隔固定時間段呈高阻狀態，對應計算出該時段對地絕緣電阻數值，間接反映爐內加熱室反碳程度。該系統可通過量化指標準確預判電阻帶及爐襯的反碳累積程度，對爐襯及電阻帶進行吹掃及清理積碳，防止電阻帶燒毀及爐襯滲碳過深，有效延長設備的使用壽命，提高設備使用效率，節省生產成本。?

附圖說明

圖1為系統結構圖。

具體實施方式

下面結合具體實施方式對本實用新型進行詳細的說明。

一種在線式化學氣相沉積爐的對地絕緣判定系統，其特征在于：

爐內每一個加熱區的電阻帶及爐襯分別串聯一個多路轉換開關后并聯，再與電量變送器、變流電阻、單相降壓變壓器電源和爐殼串聯成閉環測試電路系統；電量變送器接入智能數字儀表和報警提示系統。爐內各加熱區的電阻帶及爐襯設置并聯的測試斷開位，測試斷開位串聯有多路轉換開關。

測試電路系統中串接的變流電阻根據爐內加熱體供電電壓，產生適合采集的電流信號，經電量變送器輸出標準信號到智能數字儀表，進行判斷并通過報警提示系統產生報警提示信號。變流電阻阻值大小選取，以使測試回路產生電流信號大小方便檢測為宜。

測試電路系統中的單相降壓變壓器電源為系統電源，其變比確定根據回路測試電壓大小確定，沉積爐應用電壓一般不超過100V。

測試電路系統中的多路轉換開關分別和所需測試的爐內每一個加熱區的電阻帶及爐襯連接，通過切換操作，以方便進行單個加熱區的絕緣電阻測試，圖1以3個加熱區為例進行說明。當不進行絕緣測試時，為保證加熱正常運行，多路轉換開關必須處于測試斷開位置。

化學氣相沉積爐各區電阻帶及爐襯隨著反碳積累，加熱體絕緣情況逐漸變差，電阻值會逐漸變小。當測試電流數值接近于0，表明絕緣情況良好，測試電流數值較大，說明絕緣情況較差。該系統可以在每次停爐后進行每區絕緣電阻的檢測，記錄比較測試數值記錄，可根據每次測試電流數值變化情況，判斷加熱室反碳程度。

一種化學氣相沉積爐加熱體對地絕緣智能預判裝置的實施實例：

某化學氣相沉積爐共有4個加熱區，每區加熱電阻帶按照星形接法連接，加熱控制電壓0-90V。據此選擇單相降壓變壓器電源產生90V電壓，選配阻值為300?歐姆的管式電阻，可產生最大300毫安的電流。選配一個5位多路轉換開關，分別連接每區加熱體的某一相，預留一個位置作為測試斷開位。選配電量變送器，將0-300mA變送為4-20mA的標準電流信號，并輸入到智能數字儀表，進行報警提示。絕緣情況良好，測試電流數值接近于0，絕緣情況較差，測試電流數值較大。

本實用新型的內容不限于實施例所列舉，本領域普通技術人員通過閱讀本實用新型說明書而對本實用新型技術方案采取的任何等效的變換，均為本實用新型的權利要求所涵蓋。