[實用新型]一種集成型一分16路光分路器

有效

• 申請號: 201420074787.1
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN203759293U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 彭智祥;劉勇;胡燦棟;陸昇
• 申請（專利權）人: 杭州天野通信設備有限公司
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/24
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種集成型一分16路光分路器，其特征在于，包括：襯底層(23)；

在襯底層的上表面設有厚度為10微米的下包層(24)；

在下包層的上表面設有厚度為3微米的一號夾包層(1)；

在一號夾包層上設有長為340微米、寬為36微米的一號矩形凹槽，并且一號矩形凹槽的槽底落在下包層的上表面上；

在一號矩形凹槽內設有一號矩形干涉波導(12)，并且一號矩形干涉波導的上表面與一號夾包層的上表面在同一個水平面上，一號矩形干涉波導的折射率比下包層的折射率大1.02-1.1倍；

在一號矩形干涉波導的上表面以及一號夾包層的上表面上設有厚度為3微米的二號夾包層(2)；

在二號夾包層上設有二號矩形凹槽，并且二號矩形凹槽的槽底落在一號矩形干涉波導的上表面上，二號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在二號矩形凹槽右側的二號夾包層上分別設有與二號矩形凹槽相通的一號輸出矩形凹槽、二號輸出矩形凹槽、三號輸出矩形凹槽和四號輸出矩形凹槽，并且一號輸出矩形凹槽、二號輸出矩形凹槽、三號輸出矩形凹槽和四號輸出矩形凹槽的寬度和深度均與二號夾包層的厚度相等；

其中：一號輸出矩形凹槽與二號輸出矩形凹槽間隔6微米，二號輸出矩形凹槽與三號輸出矩形凹槽間隔6微米，三號輸出矩形凹槽與四號輸出矩形凹槽間隔6微米，二號矩形凹槽前側壁豎直平面到一號輸出矩形凹槽前側壁豎直平面的水平間隔距離為3微米；

在二號矩形凹槽、一號輸出矩形凹槽、二號輸出矩形凹槽、三號輸出矩形凹槽和四號輸出矩形凹槽內分別對應一體成型設有折射率與一號矩形干涉波導折射率相等的二號矩形干涉波導(13)、一號輸出波導(28)、二號輸出波導(29)、三號輸出波導(30)和四號輸出波導(31)，并且二號矩形干涉波導、一號輸出波導、二號輸出波導、三號輸出波導和四號輸出波導的上表面均與二號夾包層的上表面在同一個水平面上；

在二號矩形干涉波導、一號輸出波導、二號輸出波導、三號輸出波導和四號輸出波導的上表面以及二號夾包層的上表面上設有厚度為6微米的三號夾包層(3)；

在三號夾包層上設有三號矩形凹槽，并且三號矩形凹槽的槽底落在二號矩形干涉波導的上表面上，三號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在三號矩形凹槽內設有三號矩形干涉波導(14)，并且三號矩形干涉波導的上表面與三號夾包層的上表面在同一個水平面上，三號矩形干涉波導的折射率等于一號矩形干涉波導的折射率；

在三號矩形干涉波導的上表面以及三號夾包層的上表面上設有厚度3微米的四號夾包層(4)；

在四號夾包層上設有四號矩形凹槽，并且四號矩形凹槽的槽底落在三號矩形干涉波導的上表面上，四號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在四號矩形凹槽右側的四號夾包層上分別設有與四號矩形凹槽相通的五號輸出矩形凹槽、六號輸出矩形凹槽、七號輸出矩形凹槽和八號輸出矩形凹槽，并且五號輸出矩形凹槽、六號輸出矩形凹槽、七號輸出矩形凹槽和八號輸出矩形凹槽的寬度和深度均與四號夾包層的厚度相等；

其中：五號輸出矩形凹槽與六號輸出矩形凹槽間隔6微米，六號輸出矩形凹槽與七號輸出矩形凹槽間隔6微米，七號輸出矩形凹槽與八號輸出矩形凹槽間隔6微米，五號矩形凹槽前側壁豎直平面到一號輸出矩形凹槽前側壁豎直平面的水平間隔距離為3微米；

在四號矩形凹槽、五號輸出矩形凹槽、六號輸出矩形凹槽、七號輸出矩形凹槽和八號輸出矩形凹槽內分別對應一體成型設有折射率與一號矩形干涉波導折射率相等的四號矩形干涉波導(15)、五號輸出波導(32)、六號輸出波導(33)、七號輸出波導(34)和八號輸出波導(35)，并且四號矩形干涉波導、五號輸出波導、六號輸出波導、七號輸出波導和八號輸出波導的上表面均與四號夾包層的上表面在同一個水平面上；

在四號矩形干涉波導、五號輸出波導、六號輸出波導、七號輸出波導和八號輸出波導的上表面以及四號夾包層的上表面上設有厚度為1.5微米的五號夾包層(5)；

在五號夾包層上設有五號矩形凹槽，并且五號矩形凹槽的槽底落在四號矩形干涉波導的上表面上，五號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在五號矩形凹槽內設有折射率與一號矩形干涉波導折射率相等的五號矩形干涉波導(16)，并且五號矩形干涉波導的上表面與五號夾包層的上表面在同一個水平面上；

在五號矩形干涉波導的上表面以及五號夾包層的上表面上設有厚度為3微米的六號夾包層(6)；

在六號夾包層上設有六號矩形凹槽，并且六號矩形凹槽的槽底落在五號矩形干涉波導的上表面上，六號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在六號矩形凹槽左側的六號夾包層上設有與六號矩形凹槽相通的輸入矩形凹槽，并且輸入矩形凹槽的槽心線到一號矩形凹槽前側壁豎直平面的水平距離為18微米，輸入矩形凹槽的寬度和深度均與六號夾包層的厚度相等；

在六號矩形凹槽和輸入矩形凹槽內分別對應一體成型設有折射率與一號矩形干涉波導折射率相等的六號矩形干涉波導(17)和輸入波導(26)，并且六號矩形干涉波導和輸入波導的上表面均與六號夾包層的上表面在同一個水平面上；

在六號矩形干涉波導和輸入波導的上表面以及六號夾包層的上表面上設有厚度1.5微米的七號夾包層(7)；

在七號夾包層上設有七號矩形凹槽，并且七號矩形凹槽的槽底落在六號矩形干涉波導的上表面上，七號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在七號矩形凹槽內設有折射率與一號矩形干涉波導折射率相等的七號矩形干涉波導(18)，并且七號矩形干涉波導的上表面與七號夾包層的上表面在同一個水平面上；

在七號矩形干涉波導的上表面以及七號夾包層的上表面上設有厚度3微米的八號夾包層(8)；

在八號夾包層上設有八號矩形凹槽，并且八號矩形凹槽的槽底落在七號矩形干涉波導的上表面上，八號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在八號矩形凹槽右側的八號夾包層上分別設有與八號矩形凹槽相通的九號輸出矩形凹槽、十號輸出矩形凹槽、十一號輸出矩形凹槽和十二號輸出矩形凹槽，并且九號輸出矩形凹槽、十號輸出矩形凹槽、十一號輸出矩形凹槽和十二號輸出矩形凹槽的寬度和深度均與八號夾包層的厚度相等；

其中：九號輸出矩形凹槽與十號輸出矩形凹槽間隔6微米，十號輸出矩形凹槽與十一號輸出矩形凹槽間隔6微米，十一號輸出矩形凹槽與十二號輸出矩形凹槽間隔6微米，八號矩形凹槽前側壁豎直平面到一號輸出矩形凹槽前側壁豎直平面的水平距離為3微米；

在八號矩形凹槽、九號輸出矩形凹槽、十號輸出矩形凹槽、十一號輸出矩形凹槽和十二號輸出矩形凹槽內分別對應一體成型設有折射率與一號矩形干涉波導折射率相等的八號矩形干涉波導(19)、九號輸出波導(36)、十號輸出波導(37)、十一號輸出波導(38)和十二號輸出波導(39)，并且八號矩形干涉波導、九號輸出波導、十號輸出波導、十一號輸出波導和十二號輸出波導的上表面均與八號夾包層的上表面在同一個水平面上；

在八號矩形干涉波導、九號輸出波導、十號輸出波導、十一號輸出波導和十二號輸出波導的上表面以及八號夾包層的上表面上設有厚度為6微米的九號夾包層(9)；

在九號夾包層上設有九號矩形凹槽，并且九號矩形凹槽的槽底落在八號矩形干涉波導的上表面上，九號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在九號矩形凹槽內設有九號矩形干涉波導(20)，并且九號矩形干涉波導的上表面與九號夾包層的上表面在同一個水平面上，九號矩形干涉波導的折射率等于一號矩形干涉波導的折射率；

在九號矩形干涉波導的上表面以及九號夾包層的上表面上設有厚度為3微米的十號夾包層(10)；

在十號夾包層上設有十號矩形凹槽，并且十號矩形凹槽的槽底落在九號矩形干涉波導的上表面上，十號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在十號矩形凹槽右側的十號夾包層上分別設有與十號矩形凹槽相通的十三號輸出矩形凹槽、十四號輸出矩形凹槽、十五號輸出矩形凹槽和十六號輸出矩形凹槽，并且十三號輸出矩形凹槽、十四號輸出矩形凹槽、十五號輸出矩形凹槽和十六號輸出矩形凹槽的寬度和深度均與十號夾包層的厚度相等；

其中：十三號輸出矩形凹槽與十四號輸出矩形凹槽間隔6微米，十四號輸出矩形凹槽與十五號輸出矩形凹槽間隔6微米，十五號輸出矩形凹槽與十六號輸出矩形凹槽間隔6微米，十三號矩形凹槽前側壁豎直平面到一號輸出矩形凹槽前側壁豎直平面的水平間隔距離為3微米；

在十號矩形凹槽、十三號輸出矩形凹槽、十四號輸出矩形凹槽、十五號輸出矩形凹槽和十六號輸出矩形凹槽內分別對應一體成型設有折射率與一號矩形干涉波導折射率相等的十號矩形干涉波導(21)、十三號輸出波導(40)、十四號輸出波導(41)、十五號輸出波導(42)和十六號輸出波導(43)，并且十號矩形干涉波導、十三號輸出波導、十四號輸出波導、十五號輸出波導和十六號輸出波導的上表面均與十號夾包層的上表面在同一個水平面上；

在十號矩形干涉波導、十三號輸出波導、十四號輸出波導、十五號輸出波導和十六號輸出波導的上表面以及十號夾包層的上表面上設有厚度為3微米的十一號夾包層(11)；

在十一號夾包層上設有十一號矩形凹槽，并且十一號矩形凹槽的槽底落在十號矩形干涉波導的上表面上，十一號矩形凹槽的正投影與一號矩形凹槽的正投影重合；

在十一號矩形凹槽內設有十一號矩形干涉波導(22)，并且十一號矩形干涉波導的上表面與十一號夾包層的上表面在同一個水平面上，十一號矩形干涉波導的折射率等于一號矩形干涉波導的折射率；

在十一號方形干涉波導的上表面以及十一號夾包層的上表面上設有厚度為20微米的上包層(25)；

所述一號夾包層的折射率、二號夾包層的折射率、三號夾包層的折射率、四號夾包層的折射率、五號夾包層的折射率、六號夾包層的折射率、七號夾包層的折射率、八號夾包層的折射率、九號夾包層的折射率、十號夾包層的折射率和十一號夾包層的折射率分別等于下包層的折射率；

切割出輸入波導的信號光輸入端和各輸出波導的信號光輸出端，并用貼蓋板封裝。