[實用新型]一種半導體立式爐的保溫桶有效
| 申請號： | 201420074271.7 | 申請日： | 2014-02-20 |
| 公開（公告）號： | CN203798133U | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發明（設計）人： | 張駿;柳文濤 | 申請（專利權）人： | 北京七星華創電子股份有限公司 |
| 主分類號： | F27B1/10 | 分類號： | F27B1/10 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;林彥之 |
| 地址： | 100016 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 立式 保溫桶 | ||
1.一種半導體立式爐的保溫桶，包括底部石英板、豎直安裝在石英板上的若干支撐桿、水平安裝在支撐桿上的若干石英片，其特征在于，所述保溫桶還包括一石英中空殼體，所述中空殼體與所述石英板同心設置，所述支撐桿一端連接所述石英板，另一端連接所述中空殼體。
2.如權利要求1所述的保溫桶，其特征在于，所述中空殼體為圓柱形石英真空密閉殼體。
3.如權利要求1所述的保溫桶，其特征在于，所述中空殼體的側面設有若干通孔。
4.如權利要求1所述的保溫桶，其特征在于，所述中空殼體為圓柱形，側面設有若干通孔，所述通孔按軸對稱分布。
5.如權利要求1、3或4所述的保溫桶，其特征在于，所述中空殼體為圓柱形，側面設有2或4個通孔，所述通孔按軸對稱分布。
6.如權利要求1所述的保溫桶，其特征在于，所述支撐桿為3個，其中2個在所述石英板上按軸對稱分布，所述3個支撐桿設置在以石英板軸心為圓心的同一圓周上。
7.如權利要求6所述的保溫桶，其特征在于，所述支撐桿上設有凹槽，所述石英片通過所述凹槽與所述支撐桿水平插接。
8.如權利要求1或7所述的保溫桶，其特征在于，所述石英片為7～12片，水平均勻安裝在所述支撐桿上。
9.如權利要求8所述的保溫桶，其特征在于，所述石英片為包覆有OP3保溫材料的夾心層結構。
10.如權利要求1所述的保溫桶，其特征在于，所述中空殼體的高度為所述保溫桶總高度的1/3～1/2。
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