[實用新型]MEMS地震檢波器

有效

• 申請號: 201420068594.5
• 申請日: 2014-02-17
• 公開（公告）號: CN203745660U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 麻三懷;楊長春;俞度立;馮方方
• 申請（專利權）人: 中國科學院地質與地球物理研究所
• 主分類號: G01V1/18
• 分類號: G01V1/18
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張瑾

技術領域

本實用新型涉及地震勘探設備技術領域，更具體地說，涉及一種MEMS地震檢波器。?

背景技術

地震勘探是利用儀器檢測、記錄人工激發地震的反射波、折射波的傳播時間、振幅、波形等，從而分析判斷地層界面、地層性質、地質構造的一種地球物理勘探方法，其是目前勘探陸地和海洋中石油和天然氣等資源的主要手段。?

目前，石油和天然氣勘探領域中常用的地震勘探設備為活動線圈速度檢波器，其使將活動的線圈固定在與磁鐵同軸的彈簧上，通過外部震動使彈簧和線圈相對于磁鐵產生移動而由線圈產生感應電動勢。但是，上述活動線圈速度檢波器中，由于彈簧具有固有頻率，導致整個活動線圈速度型檢波器可記錄的最大動態范圍約為60dB，接收信號的畸變大，響應頻帶窄、分辨率差，不足以探測由人工震源產生的全部寬頻帶彈性波。?

另外，上述活動線圈速度檢波器還具有靈敏度低，難以采集到深層微弱信號的缺陷，嚴重影響地震勘探的有效性。再者，上述活動線圈速度檢波器中，線圈亦受噪音影響而產生振動，抗干擾能力弱，勘測時需要幾個至幾十個檢波器組合才能降低噪音干擾對測試結果的影響，造成勘測成本高。?

綜上所述，如何提供一種動態記錄范圍大、接收信號畸變小和響應頻帶寬、分辨率高的地震檢波器，以使其能夠探測由人工震源產生的全部寬頻彈性波，滿足石油或天然氣勘探要求是本領域技術人員亟待解決的問題。?

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供一種MEMS地震檢波器，其采用MEMS加速度計檢測地震波的震動，避免了使用固有頻率的線圈，可記錄的動態響應范圍大，響應頻帶寬、分辨率高，利于探測由人工震源產生的全部寬頻帶彈性波。?

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：?

一種MEMS地震檢波器，包括：設有上蓋的保護殼、設置在保護殼內的MEMS機芯和設置在保護殼外的尾錐；?

其中，所述MEMS機芯包括固定在所述保護殼內的機芯殼、設置在所述機芯殼內的支撐架和設置在支撐架上的MEMS加速度計；所述支撐架為長方體；所述MEMS加速度計為電容式加速度計，包括X加速度計、Y加速度計和Z加速度計，三者分別立設于所述支撐架上相鄰的三個側面上，且所述Z加速度計所處的側面為所述支撐架上朝向所述上蓋的側面；所述尾錐設置在螺桿上；所述螺桿穿過所述保護殼的底板，并與所述機芯殼相抵。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述上蓋通過固定件固定在所述保護殼上，且兩者之間設有密封件。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述上蓋和所述保護殼上分別設有密封槽，所述密封件插在所述上蓋和所述保護殼的密封槽內。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述保護殼的底板上固定有貼緊所述機芯殼的導電墊，所述導電墊圈在所述螺桿外周；所述機芯殼為鐵機芯殼或坡莫合金機芯殼；所述導電墊為鐵導電墊、鋁導電墊、鐵合金導電墊或鋁合金導電墊，所述尾錐為鐵尾錐、鋁尾錐、鐵合金尾椎或鋁合金尾椎，所述螺桿為鐵螺桿、鋁螺桿、鐵合金螺桿或鋁合金螺桿。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述導電墊、所述保護殼和所述螺桿一次塑化成整體。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述上蓋上嵌裝有水平儀和指南針，且所述上蓋上固定有貼覆在所述水平儀和所述指南針外的透明玻璃板。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述尾錐為四棱錐狀，且側面為凹向所述尾錐的中心軸的弧形面。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述保護殼和所述上蓋上分別設有反光涂料層。?

優選的，上述MEMS地震檢波器中，所述保護殼上設有提拉孔；所述保護殼外部設有周向凹槽，所述周向凹槽位于所述保護殼下部，且所述周向凹槽內設有橡膠圈。?

本實用新型提供一種MEMS地震檢波器，其包括設有上蓋的保護殼、設置在保護殼內的MEMS機芯和設置在保護殼外的尾錐，其中，MEMS機芯包括固定在保護殼內的機芯殼、設置在機芯殼內的支撐架和設置在支撐架上的多個MEMS加速度計；上述支撐架為長方體狀；上述MEMS加速度計為電容式加速度計，包括X加速度計、Y加速度計和Z加速度計，三者分別立設于支撐架上相鄰的三個側面上，且Z加速度計所處的側面為支撐架上朝向上蓋的頂面；上述尾錐設置在螺桿上，螺桿穿過保護殼的底板并與機芯殼相抵。?