[實用新型]MEMS地震檢波器

有效

• 申請號: 201420068594.5
• 申請日: 2014-02-17
• 公開（公告）號: CN203745660U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 麻三懷;楊長春;俞度立;馮方方
• 申請（專利權）人: 中國科學院地質與地球物理研究所
• 主分類號: G01V1/18
• 分類號: G01V1/18
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張瑾

1.一種MEMS地震檢波器，其特征在于，包括：設有上蓋的保護殼、設置在保護殼內的MEMS機芯和設置在保護殼外的尾錐；?

其中，所述MEMS機芯包括固定在所述保護殼內的機芯殼、設置在所述機芯殼內的支撐架和設置在支撐架上的MEMS加速度計；所述支撐架為長方體；所述MEMS加速度計為電容式加速度計，包括X加速度計、Y加速度計和Z加速度計，三者分別立設于所述支撐架上相鄰的三個側面上，且所述Z加速度計所處的側面為所述支撐架上朝向所述上蓋的側面；所述尾錐設置在螺桿上；所述螺桿穿過所述保護殼的底板，并與所述機芯殼相抵。?

2.根據權利要求1所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述上蓋通過固定件固定在所述保護殼上，且兩者之間設有密封件。?

3.根據權利要求2所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述上蓋和所述保護殼上分別設有密封槽，所述密封件插在所述上蓋和所述保護殼的密封槽內。?

4.根據權利要求1所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述保護殼的底板上固定有貼緊所述機芯殼的導電墊，所述導電墊圈在所述螺桿外周；所述機芯殼為鐵機芯殼或坡莫合金機芯殼；所述導電墊為鐵導電墊、鋁導電墊、鐵合金導電墊或鋁合金導電墊，所述尾錐為鐵尾錐、鋁尾錐、鐵合金尾椎或鋁合金尾椎，所述螺桿為鐵螺桿、鋁螺桿、鐵合金螺桿或鋁合金螺桿。?

5.根據權利要求4所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述導電墊、所述保護殼和所述螺桿一次塑化成整體。?

6.根據權利要求1所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述上蓋上嵌裝有水平儀和指南針，且所述上蓋上固定有貼覆在所述水平儀和所述指南針外的透明玻璃板。?

7.根據權利要求1所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述尾錐為四棱錐狀，且側面為凹向所述尾錐的中心軸的弧形面。?

8.根據權利要求1所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述保護殼和所述上蓋上分別設有反光涂料層。?

9.根據權利要求8所述的MEMS地震檢波器，其特征在于，所述保護殼上設有提拉孔；所述保護殼外部設有周向凹槽，所述周向凹槽位于所述保護殼下部，且所述周向凹槽內設有橡膠圈。?