[實用新型]一種晶棒晶面確定裝置

有效

• 申請號: 201420064538.4
• 申請日: 2014-02-13
• 公開（公告）號: CN203595676U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 廖波;林文杰;李燁
• 申請（專利權）人: 南京京晶光電科技有限公司
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

技術領域

本實用新型涉及一種檢測裝置，尤其是一種晶棒晶面確定裝置。

背景技術

晶棒作為晶片加工產品的原材料，其本身物理性質對于晶片加工產品的質量起決定性作用。晶棒的物理性質，例如硬度、發光強度等均由其內部的晶面決定；晶棒內部含有多個晶面，例如A面、B面、R面等等，其中部分晶面，例如R面，與水平面存在一定夾角。現有技術中的晶面檢測裝置多為水平檢測儀器，其難以對傾斜晶面實現精確測量，從而使得晶棒的晶面難以確定，使得其加工產品質量存在一定的不穩定性。

實用新型內容

本發明要解決的技術問題是提供一種晶棒晶面確定裝置，其可高效便捷的實現晶棒內晶面的測量，同時可對傾斜晶面實現精確檢測。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種晶棒晶面確定裝置，其包含有X射線定位平臺，所述X射線定位平臺中包括平臺底座，以及設置在底座上的X射線發射器、X射線接收器與顯示屏；所述顯示屏與X射線接收器之間采用電性連接。所述X射線定位平臺上設置有用于放置晶體的傾斜載臺，與用于對晶棒進行定位的晶棒定位裝置；所述傾斜載臺與X射線定位平臺之間采用可發生相對轉動的可轉動連接；所述傾斜載臺包含有載臺底座，以及設置在載臺底座上，且與水平面成一定角度的晶棒支撐平臺；所述晶棒支撐平臺底部與晶棒定位裝置間距離小于晶棒支撐平臺頂部與晶棒定位裝置間的距離；所述晶棒定位裝置正對晶棒支撐平臺中用于放置晶棒的一面。

作為本實用新型的一種改進，所述X射線定位平臺上設置有旋轉平臺，所述旋轉平臺由設置在X射線定位平臺內的電機控制；所述旋轉平臺與傾斜載臺間的相對位置固定，其可由電機控制旋轉平臺帶動傾斜載臺轉動，精確便捷的實現晶棒的旋轉，以便通過X射線確定晶棒的晶面。

作為本實用新型的一種改進，所述旋轉平臺與傾斜載臺之間設置有晶棒載臺；所述載臺底座由晶棒載臺表面向上延伸，且與晶棒載臺相互固定；所述晶棒支撐平臺與載臺底座之間采用可轉動連接，其可避免旋轉平臺直接與傾斜載臺接觸，以導致旋轉過程中的機械振動影響晶棒位置。

作為本實用新型的另一種改進，所述載臺底座由兩塊相互平行的直板構成；所述晶棒支撐平臺由寬度與載臺底座中兩平行直板之間的距離相等的支撐塊構成；所述支撐塊設置在載臺底座的兩塊直板之間，其通過轉軸與直板連接；所述支撐塊中具有用于放置晶棒的晶棒放置面，晶棒放置面采用弧形面結構。采用上述設計，晶棒支撐平臺與水平面的夾角可根據晶棒的規格不同進行調節，以適用于不同規格晶棒晶面的確定。

作為本實用新型的一種改進，所述晶棒定位裝置包括由晶棒載臺表面向上延伸的擋塊，所述擋塊的高度低于X射線發射器以及接收器的高度。

作為本實用新型的另一種改進，所述擋塊底部設置有與擋塊之間采用固定連接的滑板，所述晶棒載臺在滑板的對應位置設置有長度與寬度均大于滑板的滑槽，滑板可沿滑槽長度方向進行位移；所述滑槽一端與晶棒支撐平臺底部所在豎直平面存在微小間隙，另一端與晶棒載臺邊部之間存在微小間隙。采用上述設計，其可根據晶棒規格調整晶棒定位裝置與晶棒之間距離，以實現最佳定位效果。

作為本實用新型的另一種改進，所述滑槽兩側內邊，以及滑板和滑槽相交的側邊，均設置有彼此間能夠緊密貼合的鋸齒；所述鋸齒的齒長范圍為0.5至1厘米，其在不影響滑塊在滑槽內運動的前提下，有效確保其接觸穩定。

上述晶棒晶面確定裝置，其可將晶棒放置在晶棒支撐平臺中的弧形面上，并根據檢測要求調整晶棒支撐平臺與水平面夾角，同時通過調整晶棒定位裝置，以實現晶棒在需求角度下的位置的固定。設備開啟后，通過X射線發生器發射X射線射入晶棒內部，晶棒在旋轉平臺驅動下自行旋轉，當晶棒與X射線的夾角達到規定值時，X射線接收器方能接收到反射而來的射線，并通過顯示屏顯示當前角度，即實現晶面角度的測量。

采用上述技術方案的晶棒晶面確定裝置，其可高效便捷的實現各個規格晶棒的晶面角度的檢測，從而確定晶棒是否符合生產需求，避免晶棒本身物理性質不佳導致加工產品的質量下降；同時，其避免了水平儀器無法對晶棒中部分與水平面存在夾角的晶面實現精確測量的現象，對于不同晶棒的不同晶面，均可通過調整裝置角度實現精確測量。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖；

圖2為本實用新型中晶棒定位裝置連接示意圖；

附圖標記說明：

1—X射線定位平臺底座、2—X射線發射器、3—X射線接收器、4—顯示屏、5—晶棒定位裝置、6—載臺底座、7—晶棒支撐平臺、8—旋轉平臺、9—晶棒載臺、10—滑板、11—滑槽、12—鋸齒。