[實用新型]一種晶棒晶面確定裝置

有效

• 申請號: 201420064538.4
• 申請日: 2014-02-13
• 公開（公告）號: CN203595676U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 廖波;林文杰;李燁
• 申請（專利權）人: 南京京晶光電科技有限公司
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

1.一種晶棒晶面確定裝置，其包含有X射線定位平臺，所述X射線定位平臺中包括平臺底座，以及設置在底座上的X射線發射器、X射線接收器與顯示屏；所述顯示屏與X射線接收器之間采用電性連接，其特征在于，所述X射線定位平臺上設置有用于放置晶體的傾斜載臺，與用于對晶棒進行定位的晶棒定位裝置；所述傾斜載臺與X射線定位平臺之間采用可發生相對轉動的可轉動連接；所述傾斜載臺包含有載臺底座，以及設置在載臺底座上，且與水平面成一定角度的晶棒支撐平臺；所述晶棒支撐平臺底部與晶棒定位裝置間距離小于晶棒支撐平臺頂部與晶棒定位裝置間的距離；所述晶棒定位裝置正對晶棒支撐平臺中用于放置晶棒的一面。

2.按照權利要求1所述的晶棒晶面確定裝置，其特征在于，所述X射線定位平臺上設置有旋轉平臺，所述旋轉平臺由設置在X射線定位平臺內的電機控制；所述旋轉平臺與傾斜載臺間的相對位置固定。

3.按照權利要求1或2所述的晶棒晶面確定裝置，其特征在于，所述旋轉平臺與傾斜載臺之間設置有晶棒載臺；所述載臺底座由晶棒載臺表面向上延伸，且與晶棒載臺相互固定；所述晶棒支撐平臺與載臺底座之間采用可轉動連接。

4.按照權利要求3所述的晶棒晶面確定裝置，其特征在于，所述載臺底座由兩塊相互平行的直板構成；所述晶棒支撐平臺由寬度與載臺底座中兩平行直板之間的距離相等的支撐塊構成；所述支撐塊設置在載臺底座的兩塊直板之間，其通過轉軸與直板連接；所述支撐塊中具有用于放置晶棒的晶棒放置面，晶棒放置面采用弧形面結構。

5.按照權利要求1或2所述的晶棒晶面確定裝置，其特征在于，所述晶棒定位裝置包括由晶棒載臺表面向上延伸的擋塊，所述擋塊的高度低于X射線發射器以及接收器的高度。

6.按照權利要求5所述的晶棒晶面確定裝置，其特征在于，所述擋塊底部設置有與擋塊之間采用固定連接的滑板，所述晶棒載臺在滑板的對應位置設置有長度與寬度均大于滑板的滑槽，滑板可沿滑槽長度方向進行位移；所述滑槽一端與晶棒支撐平臺底部所在豎直平面存在微小間隙，另一端與晶棒載臺邊部之間存在微小間隙。

7.按照權利要求6所述的晶棒晶面確定裝置，其特征在于，所述滑槽兩側內邊，以及滑板和滑槽相交的側邊，均設置有彼此間能夠緊密貼合的鋸齒；所述鋸齒的齒長范圍為0.5至1厘米。