[實用新型]磁控濺射旋轉靶

有效

• 申請號: 201420062629.4
• 申請日: 2014-02-11
• 公開（公告）號: CN203741407U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 肖世文
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 譚英強

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射領域，特別是一種磁控濺射旋轉靶。

背景技術

目前最常用的制備薄膜的方法是真空磁控濺射法。真空磁控濺射法是在高真空充入適量的氬氣，在陰極（柱狀靶或平面靶）和陽極（鍍膜室壁）之間施加幾百K的直流電壓，在鍍膜室內產生磁控型異常輝光放電，使氬氣發生電離。氬離子被陰極加速并轟擊陰極靶表面，將靶材表面原子濺射出來沉積在基底表面上形成薄膜。

濺射用旋轉靶包括圓柱狀旋轉管，該旋轉管的外表面套接固定有靶材。靶材與旋轉管通過中間層連接固定，并且導熱導電。現在國內靶材行業中間層材料采用的是低熔點金屬銦或者銦的合金材料，其特點是熔點低、中間層較厚（0.3-0.5mm）、耐熱性較差、容易流動，這樣造成兩者影響正常使用，嚴重的會造成脫靶停線。

實用新型內容

為了克服上述技術問題，本實用新型的目的在于提供一種導熱、導電性能良好的磁控濺射旋轉靶。

本實用新型所采用的技術方案是：

一種磁控濺射旋轉靶，包括管狀的襯管和固定套接在襯管外壁上并隨襯管旋轉的靶材，所述襯管和靶材的連接面上設有中間層，所述中間層為導電膠。

作為上述技術方案的進一步改進，所述導電膠的厚度為0.05-0.2mm。

作為上述技術方案的進一步改進，所述導電膠包括銀導電膠、銅導電膠或鋁導電膠。

作為上述技術方案的進一步改進，所述靶材的材質為合金、陶瓷、石墨或硅。

作為上述技術方案的進一步改進，所述襯管由導體材質制成。

作為上述技術方案的進一步改進，所述襯管與靶材螺紋連接，所述導電膠均布于螺紋連接面上且充滿襯管與靶材的螺紋間隙。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的中間層采用導電膠將襯管和靶材綁定連接，由于導電膠的導電導熱性非常優良，并且粘合能力很強，其固化后不會產生流動,?可以替代昂貴的銦金屬，節省了成本，更有利于提高襯管與靶材的導電導熱能力；濺射過程中，濺射功率越大產生的熱量越大，在達到銦的熔點后容易脫靶，與銦相比，導電膠的分解溫度為銦的一倍以上，即使是較大的濺射功率也不會造成脫靶，使得安全性極大提高。

附圖說明

下面結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的第一實施例結構示意圖；

圖2是本實用新型的第二實施例結構示意圖；

圖3是圖2中A部分的放大示意圖。

具體實施方式

如圖1至圖3所示的磁控濺射旋轉靶，包括管狀的襯管1和固定套接在襯管1外壁上并隨襯管1旋轉的靶材2，襯管1和靶材2的連接面上設有中間層，該中間層為導電膠3。

使用本實施例的旋轉靶可以極大的提升濺射工作功率。其原因在于現有技術中作為中間層的金屬銦熔點低，基于濺射功率大所產生的熱量就大的原理，當金屬銦達到其熔點后液化，液體狀態下部具有粘結性能，且流動性非常好，就意味著容易脫靶，限制了濺射功率的提升；而導電膠的分解溫度在300℃以上，是銦或者銦合金熔點的一倍，安全性大大提高，在大功率濺射條件下不會脫靶影響正常工作，大大提高下游生產企業的工作效率。經過檢測數據說明，目前銦在≥160℃其剪切強度為零，本實施例在120℃-300℃其剪切強度＞200Kg。

銦必須要在其熔點160℃上才能成為液態，才具有焊接性能，對靶材2與襯管1的焊接效率帶來一定的影響，而導電膠在常溫下是液體，可以直接涂布在靶材2與襯管1的連接面上等待固化，而且只有在其固化溫度90-150℃上才固化。

導電膠3的粘合力非常高，因此其厚度無需太厚，僅需要0.05-0.2mm，低于傳統銦、銦合金的厚度，節省了材料，節約制造成本。

優選的，導電膠3的厚度為0.05-0.2mm。

優選的，導電膠3包括銀導電膠、銅導電膠或鋁導電膠。

優選的，靶材2的材質為合金、陶瓷、石墨或硅等導體材料。

優選的，襯管1包含金屬材料、合金材料等導體材料。

如圖1所示的第一實施例，靶材2直接套接于襯管1外周，連接面上為導電膠3。

如圖2和圖3所示的第二實施例，襯管1與靶材2螺紋連接，導電膠3均布于螺紋連接面上且充滿襯管1與靶材2的螺紋間隙，更有利于提高導電導熱性。由于襯管1與靶材2通過螺紋連接后，使得靶材2的安裝非常方便，而且當靶材2將要耗竭而無法繼續使用時，亦容易從襯管1中分離以回收利用，未使用的靶材2也就能旋入襯管1中使用，使得襯管1可以重復利用，大大節省了材料的損耗，節省了成本。

以上所述只是本實用新型優選的實施方式，其并不構成對本實用新型保護范圍的限制。