[實用新型]瓦形石英舟

有效

• 申請號: 201420048813.3
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN203659822U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 張彩根
• 申請（專利權）人: 湖州東科電子石英有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 杭州新源專利事務所(普通合伙) 33234
• 代理人: 李大剛

技術領域

本實用新型涉及一種石英舟，特別是一種瓦形石英舟。

背景技術

石英舟是擴散工藝的必備工具，無論是半導體器件的擴散，還是太陽能工藝的擴散都大量使用石英器件做為載體，石英舟耐高溫不變形，不污染器件而且能重復使用，尤其是近幾年來由于太陽能產業發展迅速，人們使用石英舟的式樣也越來越多。

常規的石英舟包括一舟本體，舟本體上安裝支撐腳，支撐腳上安裝開有插片槽的槽棒，使用時，散熱從支撐腳下方進行散熱，該種結構的石英舟所用材料較多，成本較高，而且不易插片，使得報廢率較高（報廢率在5%）。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種瓦形石英舟。本實用新型能降低材料成本，方便插片，不易報廢。

本實用新型的技術方案：瓦形石英舟，其特征在于：包括圓弧角為118°的圓弧狀本體，圓弧狀本體的兩側下部設有圓管，圓弧狀本體下表面設有兩根支腳，圓弧狀本體中部設有腰形通氣孔，圓弧狀本體上表面橫向設有多個插片槽。

前述的瓦形石英舟中，所述的圓弧狀本體的厚度為12mm，長為122mm，圓弧狀本體的外圓弧直徑為152mm。

前述的瓦形石英舟中，所述的插片槽的截面是瓦形狀的。

前述的瓦形石英舟中，所述圓管的外徑是14mm，內孔直徑是8mm。

前述的瓦形石英舟中，所述的腰形通氣孔寬為20mm，長為85mm。

與現有技術相比，本實用新型采用合適長度的圓弧狀本體，在圓弧狀本體上開設插片槽，并在其底部開設腰形通氣孔，省去了四根槽棒，降低了材料成本（與常規相比，可節省材料成本30%），而且插片方便、穩定，降低了報廢率（報廢率不超過2%），從而降低了加工成本。圓弧狀本體的圓弧角為118°，可以使一個圓管做成3個圓弧狀本體，從而能最大化使用材料，盡可能降低成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1的俯視圖。

附圖中的標記為：1-插片槽，2-圓管，3-圓弧狀本體，4-支腳，5-腰形通氣孔。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明，但并不作為對本實用新型限制的依據。

實施例。瓦形石英舟，構成如圖1和2所示，其特征在于：包括圓弧角R為118°的圓弧狀本體3，圓弧狀本體3的兩側下部設有圓管2，圓弧狀本體3下表面設有兩根支腳4，圓弧狀本體3中部設有腰形通氣孔5，圓弧狀本體3上表面橫向設有多個插片槽1。

較好的是所述的圓弧狀本體的厚度為12mm，長為122mm，圓弧狀本體的外圓弧直徑Φ1為152mm。不僅達到合理的強度，還能節省材料成本。

較好的是所述的插片槽1的截面是瓦形狀的，具體為：在圓弧狀本體3的兩側槽較深，從兩側向中部槽賤淺。這樣能更加方便插片，而且插片固定穩定。

所述圓管2的外徑是14mm，內孔直徑是8mm。

所述的腰形通氣孔5寬為20mm，長為85mm。

本實用新型采用合適長度的圓弧狀本體，在圓弧狀本體上開設插片槽，并在其底部開設腰形通氣孔，省去了四根槽棒，降低了材料成本（與常規相比，可節省材料成本30%），而且插片方便、穩定，降低了報廢率（報廢率不超過2%），從而降低了加工成本。圓弧狀本體的圓弧角為118°，可以使一個圓管做成3個圓弧狀本體，從而能最大化使用材料，盡可能降低成本。