[實(shí)用新型]瓦形石英舟有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420048813.3 | 申請(qǐng)日： | 2014-01-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203659822U | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張彩根 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湖州東科電子石英有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/673 | 分類號(hào)： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 杭州新源專利事務(wù)所(普通合伙) 33234 | 代理人： | 李大剛 |
| 地址： | 313009 浙江省湖*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石英 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.瓦形石英舟，其特征在于：包括圓弧角為118°的圓弧狀本體（3），圓弧狀本體（3）的兩側(cè)下部設(shè)有圓管（2），圓弧狀本體（3）下表面設(shè)有兩根支腳（4），圓弧狀本體（3）中部設(shè)有腰形通氣孔（5），圓弧狀本體（3）上表面橫向設(shè)有多個(gè)插片槽（1）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瓦形石英舟，其特征在于：所述的插片槽（1）的截面是瓦形狀的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瓦形石英舟，其特征在于：所述圓管（2）的外徑是14mm，內(nèi)孔直徑是8mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的瓦形石英舟，其特征在于：所述的腰形通氣孔（5）寬為20mm，長(zhǎng)為85mm。
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
