[實用新型]干燥裝置及具有該干燥裝置的清洗機

有效

• 申請號: 201420037783.6
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN203785372U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 陳定平;左迪建
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: F26B5/08
• 分類號: F26B5/08
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種干燥裝置，其特征在于，包括：水平設置的轉盤；所述轉盤包括底板和形成于所述底板周圍的側壁，所述底板和側壁圍成用于容置晶片容置件的空間；所述底板底部形成有用于帶動所述轉盤繞中心旋轉的驅動軸；在所述側壁內、且在所述底板中心垂直設置有定位柱；所述側壁內表面上形成有用于卡合所述晶片容置件底部支腳的第一卡槽，所述定位柱側面形成有用于配合所述第一卡槽固定所述晶片容置件的第二凹槽；所述定位柱呈正四棱柱狀，所述定位柱的四個側面上分別設置有所述第二凹槽，所述側壁內表面分別設置有與每個所述第二凹槽相對的兩個所述第一卡槽。?

2.根據權利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述定位柱內部形成有與所述晶片容置件外形相匹配的空腔。?

3.根據權利要求1-2任一所述的干燥裝置，其特征在于，所述側壁上設置有送氣管，所述送氣管上開設有用于朝所述側壁內送入氣體的送氣口。?

4.根據權利要求1-2任一所述的干燥裝置，其特征在于，所述底板上開設有排水通孔。?

5.根據權利要求4所述的干燥裝置，其特征在于，所述驅動軸下方還設置有用于驅動所述驅動軸旋轉的驅動裝置。?

6.根據權利要求5所述的干燥裝置，其特征在于，所述驅動裝置為液壓馬達。?

7.一種清洗機，包括：如權利要求1-6任一所述的干燥裝置。?