[實用新型]一種提拉法生長晶體的節(jié)能裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420037201.4
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN203700580U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設計）人: 莫東鳴
• 申請（專利權）人: 重慶工業(yè)職業(yè)技術學院
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型屬于晶體生長領域，尤其涉及一種提拉法生長晶體的節(jié)能裝置。

背景技術

根據硅在高溫下化學性質活潑和生長單晶所必須滿足的條件來看，一般拉晶設備都要具備：加熱部分、爐體和機械傳動部分、真空和惰性氣體裝置。然而目前，現(xiàn)有的晶體生長裝置一般采用單室結構，例如美國專利（US6200917）采用石英玻璃作為真空生長室，感應線圈位于石英玻璃外，由密封圈、下法蘭、石英管及頂蓋構成真空生長室；例如中國專利（CN200310113521.X）采用放置了感應線圈的金屬腔體作為單一的真空生長室。每次晶體生長前的裝料及生長結束后取出晶體都要打開真空生長室，引起真空生長室接觸空氣，極易受到大氣的污染和氮吸附，很難實現(xiàn)晶體生長以及對雜質的精確控制。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種提拉法生長晶體的節(jié)能裝置，旨在解決現(xiàn)有的技術存在的每次晶體生長前的裝料及生長結束后取出晶體都要打開真空生長室，引起真空生長室接觸空氣，極易受到大氣的污染和氮吸附，很難實現(xiàn)晶體生長以及對雜質的精確控制的問題。

本實用新型是這樣實現(xiàn)的，一種提拉法生長晶體的節(jié)能裝置，該裝置的結構包括：爐體、籽晶軸、反射罩、石英坩堝、石墨坩堝、石墨堝托、加熱器、多層石墨保溫罩、電極、導線接板、坩堝軸；

爐體設置在整個裝置的最外面，起到保護內部裝置的作用；

籽晶軸設置在最上方，起到提拉、旋轉籽晶的作用；

石英坩堝設置在籽晶軸提拉的籽晶下方，起到存儲熔融的原料的作用；

石英堝托設置在石英坩堝下方，起到支撐石英坩堝并保溫的作用；

反射罩設置在石英堝托的下方，起到將石英堝托散失的熱量重新回收的作用；

石墨坩堝設置在反射罩的外面，石墨堝托設置在石墨坩堝外面；

加熱器與電極相連，設置在電極與石墨堝托之間，起到加熱整個裝置的作用；

多層石墨保溫罩設置在爐體內部靠近爐體一側，在爐體和電極之間，起到對整個裝置保溫的作用；

坩堝軸設置在下端，與石墨堝托相連，起到轉動石墨堝托、石墨坩堝、石英堝托、石英坩堝及反射罩的作用；

導線接板與電極相連，設置在下端，起到為整個裝置提供輸電的作用。

進一步，加熱器的加熱線圈采用低頻電阻加熱，并可采用調壓變壓器控制。

進一步，爐體由不易生銹、非多孔性、不易揮發(fā)、易于清潔處理，并有一定機械強度的不銹鋼材料壓制而成，并且爐體是雙層水冷，呈圓筒形，內壁無死角，能有效散熱、便于清潔處理。

本實用新型提供的提拉法生長晶體的節(jié)能裝置，機械傳動部分主要包括籽晶軸和坩堝軸的轉動和提升，并且籽晶軸的轉速在調速范圍內穩(wěn)定無振動；并且加熱線圈采用低頻電阻加熱，功率小，能耗低，節(jié)約能源，并且加熱功率可實現(xiàn)連續(xù)可調，功率足夠使硅料全部融化。更重要的是，本實用新型的晶體生長的裝置能提高生產效率，高度節(jié)能，操作方便，使用安全，大大降低了生產成本，并提高了晶體的利用率，節(jié)約資源。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例提供的提拉法生長晶體的節(jié)能裝置的結構示意圖。

1、坩堝軸；2、電極；3、加熱器；4、多層石墨保溫罩；5、爐體；6、籽晶軸；7、石墨堝托；8、石英坩堝；9、石英堝托；10、反射罩；11、石墨坩堝；12、導線接板。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

結合附圖1對本案例進行說明，本實用新型實施例是這樣實現(xiàn)的，一種提拉法生長晶體的節(jié)能裝置，該裝置的結構包括：爐體、籽晶軸、反射罩、石英坩堝、石墨坩堝、石墨堝托、加熱器、多層石墨保溫罩、電極、導線接板、坩堝軸；

爐體5設置在整個裝置的最外面，起到保護內部裝置的作用；

籽晶軸6設置在最上方，起到提拉、旋轉籽晶的作用；

石英坩堝8設置在籽晶軸6提拉的籽晶下方，起到存儲熔融的原料的作用；

石英堝托9設置在石英坩堝8下方，起到支撐石英坩堝8并保溫的作用；

反射罩10設置在石英堝托9的下方，起到將石英堝托9散失的熱量重新回收的作用；

石墨坩堝11設置在反射罩10的外面，石墨堝托7設置在石墨坩堝11外面；

加熱器3與電極2相連，設置在電極2與石墨堝托7之間，起到加熱整個裝置的作用；