[實用新型]一種提拉法生長晶體的節能裝置有效
| 申請號: | 201420037201.4 | 申請日: | 2014-01-21 |
| 公開(公告)號: | CN203700580U | 公開(公告)日: | 2014-07-09 |
| 發明(設計)人: | 莫東鳴 | 申請(專利權)人: | 重慶工業職業技術學院 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 湯東鳳 |
| 地址: | 401120 重*** | 國省代碼: | 重慶;85 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 提拉法 生長 晶體 節能 裝置 | ||
1.一種提拉法生長晶體的節能裝置,其特征在于,該裝置的結構包括:爐體、籽晶軸、反射罩、石英坩堝、石墨坩堝、石墨堝托、加熱器、多層石墨保溫罩、電極、導線接板、坩堝軸;
爐體設置在整個裝置的最外面;
籽晶軸設置在最上方;
石英坩堝設置在籽晶軸提拉的籽晶下方;
石英堝托設置在石英坩堝下方;
反射罩設置在石英堝托的下方;
石墨坩堝設置在反射罩的外面,石墨堝托設置在石墨坩堝外面;
加熱器與電極相連,設置在電極與石墨堝托之間;
多層石墨保溫罩設置在爐體內部靠近爐體一側,在爐體和電極之間;
坩堝軸設置在下端,與石墨堝托相連,起到轉動石墨堝托、石墨坩堝、石英堝托、石英坩堝及反射罩的作用;
導線接板與電極相連,設置在下端。
2.如權利要求1所述的提拉法生長晶體的節能裝置,其特征在于,加熱器的加熱線圈采用低頻電阻加熱。
3.如權利要求1所述的提拉法生長晶體的節能裝置,其特征在于,爐體是雙層水冷,呈圓筒形。
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