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[實用新型]一種提拉法生長晶體的節能裝置有效

專利信息
申請號: 201420037201.4 申請日: 2014-01-21
公開(公告)號: CN203700580U 公開(公告)日: 2014-07-09
發明(設計)人: 莫東鳴 申請(專利權)人: 重慶工業職業技術學院
主分類號: C30B15/00 分類號: C30B15/00
代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 代理人: 湯東鳳
地址: 401120 重*** 國省代碼: 重慶;85
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 提拉法 生長 晶體 節能 裝置
【權利要求書】:

1.一種提拉法生長晶體的節能裝置,其特征在于,該裝置的結構包括:爐體、籽晶軸、反射罩、石英坩堝、石墨坩堝、石墨堝托、加熱器、多層石墨保溫罩、電極、導線接板、坩堝軸;

爐體設置在整個裝置的最外面;

籽晶軸設置在最上方;

石英坩堝設置在籽晶軸提拉的籽晶下方;

石英堝托設置在石英坩堝下方;

反射罩設置在石英堝托的下方;

石墨坩堝設置在反射罩的外面,石墨堝托設置在石墨坩堝外面;

加熱器與電極相連,設置在電極與石墨堝托之間;

多層石墨保溫罩設置在爐體內部靠近爐體一側,在爐體和電極之間;

坩堝軸設置在下端,與石墨堝托相連,起到轉動石墨堝托、石墨坩堝、石英堝托、石英坩堝及反射罩的作用;

導線接板與電極相連,設置在下端。

2.如權利要求1所述的提拉法生長晶體的節能裝置,其特征在于,加熱器的加熱線圈采用低頻電阻加熱。

3.如權利要求1所述的提拉法生長晶體的節能裝置,其特征在于,爐體是雙層水冷,呈圓筒形。

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