[實(shí)用新型]一種用于測試SEM實(shí)驗中放置硅片的盒子有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420028870.5 | 申請日： | 2014-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN203862260U | 公開（公告）日： | 2014-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 許海峰;劉寧;馬夢;曹保銀;楊承志;王桂英;張明玉;郝保明;王紅艷;李娜;劉鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 宿州學(xué)院 |
| 主分類號： | B01L3/00 | 分類號： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 234000 *** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 測試 sem 實(shí)驗 放置 硅片 盒子 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于測試SEM實(shí)驗中放置硅片的盒子，其特征在于：包括有圓柱形盒體以及圓柱形蓋體，圓柱形盒體的下端外壁上設(shè)有環(huán)形凹槽，圓柱形蓋體的下端內(nèi)壁上設(shè)有與環(huán)形凹槽配合的環(huán)形凸起，圓柱形蓋體的側(cè)壁上設(shè)有一個缺口，圓柱形盒體的內(nèi)部由隔板分為若干等份，其中一個等份的外端封閉，其余各個等份的外端敞開。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于測試SEM實(shí)驗中放置硅片的盒子，其特征在于：所述的圓柱形蓋體上的缺口大小不小于硅片的大小，不大于圓柱形盒體的各個等份的敞口大小。?
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