[實用新型]一種用于測試SEM實驗中放置硅片的盒子

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420028870.5
• 申請日: 2014-01-16
• 公開（公告）號: CN203862260U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許海峰;劉寧;馬夢;曹保銀;楊承志;王桂英;張明玉;郝保明;王紅艷;李娜;劉鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 宿州學(xué)院
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

技術(shù)領(lǐng)域

????本實用新型主要涉及實驗器材領(lǐng)域，尤其涉及一種用于測試SEM實驗中放置硅片的盒子。

背景技術(shù)

????測試SEM實驗中，對硅片的清潔度有一定的要求，硅片的儲存及使用不當(dāng)，極易對硅片造成污染，影響測試數(shù)據(jù)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型目的就是為了彌補已有技術(shù)的缺陷，提供一種用于測試SEM實驗中放置硅片的盒子。

本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

一種用于測試SEM實驗中放置硅片的盒子，其特征在于：包括有圓柱形盒體以及圓柱形蓋體，圓柱形盒體的下端外壁上設(shè)有環(huán)形凹槽，圓柱形蓋體的下端內(nèi)壁上設(shè)有與環(huán)形凹槽配合的環(huán)形凸起，圓柱形蓋體的側(cè)壁上設(shè)有一個缺口，圓柱形盒體的內(nèi)部由隔板分為若干等份，其中一個等份的外端封閉，其余各個等份的的外端敞開，外端敞開的各個等份中編寫有不同的編號并分別放置有硅片。

所述的一種用于測試SEM實驗中放置硅片的盒子，其特征在于：所述的圓柱形蓋體上的缺口大小不小于硅片的大小，不大于圓柱形盒體的各個等份的敞口大小。

本實用新型的優(yōu)點是：

本實用新型是用于貯存硅片，貯存時，圓柱形蓋體旋合在圓柱形盒體上并且缺口對在外端封閉的等份處，需要取出某一編號對應(yīng)的硅片時，只需用將缺口對在相應(yīng)的外端敞開的等份上即可，使用方便，可有效保護硅片。

附圖說明

圖1為本實用新型的圓柱形盒體的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型的圓柱形蓋體的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1、2所示，一種用于測試SEM實驗中放置硅片的盒子，包括有圓柱形盒體1以及圓柱形蓋體2，圓柱形盒體1的下端外壁上設(shè)有環(huán)形凹槽3，圓柱形蓋體2的下端內(nèi)壁上設(shè)有與環(huán)形凹槽3配合的環(huán)形凸起4，圓柱形蓋體2的側(cè)壁上設(shè)有一個缺口5，圓柱形盒體1的內(nèi)部由隔板6分為若干等份，其中一個等份7的外端封閉，其余各個等份的的外端敞開，外端敞開的各個等份中編寫有不同的編號并分別放置有硅片。

圓柱形蓋體2上的缺口5大小不小于硅片的大小，不大于圓柱形盒體1的各個等份的敞口大小。