[實用新型]一種機(jī)械手臂抓器以及機(jī)械手臂

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420019124.X
• 申請日: 2014-01-13
• 公開（公告）號: CN203721694U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李強(qiáng);杜亮;常延武;詹揚;吳兵
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687;B65G49/07
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及一種機(jī)械手臂抓器以及機(jī)械手臂。

背景技術(shù)

在晶圓生產(chǎn)過程中,每次刻蝕完成后，都要經(jīng)過很多道不同的清洗，用于清洗晶圓表面上不同的污染物質(zhì)。在不同清洗槽之間，通常運用機(jī)械手臂抓器(armgripper)來運送載有晶圓的晶圓搬運器（carrier）以實現(xiàn)晶圓在不同的清洗槽體間的傳送。

圖1是晶圓刻蝕后清洗流程圖，如圖1所示，晶圓在刻蝕完成以后，機(jī)械手臂抓器通過其鉤子30把裝有晶圓的晶圓搬運器20放入第一化學(xué)清洗槽1中清洗；清洗后，機(jī)械手臂抓器再把裝有晶圓的晶圓搬運器放入第一去離子水槽2中清洗。如此，機(jī)械手臂抓器再把晶圓搬運器分別送到第二化學(xué)清洗槽3和第二去離子水槽4中進(jìn)行清洗，最后經(jīng)過干燥槽5的干燥后，進(jìn)入下一道程序。

圖2是現(xiàn)有的機(jī)械手臂抓器的鉤子鉤住晶圓搬運器的示意圖。如圖2所示，機(jī)械手臂抓器傳送晶圓搬運器20時，首先，下降機(jī)械手臂抓器的鉤子30到指定位置，接著，水平移動機(jī)械手臂抓器的鉤子30，再上提機(jī)械手臂抓器，使機(jī)械手臂抓器的鉤子30掛在晶圓的搬運器20側(cè)壁的掛鉤21上，上拉晶圓搬運器20使之脫離清洗槽，到一定高度后，水平移動機(jī)械手臂抓器，到達(dá)下一清洗槽上方時，再下放晶圓搬運器到清洗槽內(nèi)，最后把機(jī)械手臂抓器的鉤子30從掛鉤21內(nèi)摘下來，晶圓在清洗槽內(nèi)清洗，如此循環(huán)進(jìn)入下一清洗槽，直到干燥，完成對晶圓的清洗。

由于機(jī)械手臂抓器每次運送晶圓搬運器都要進(jìn)行抓取運作,因此在機(jī)械手臂抓器的著力區(qū)即鉤子30的拐角區(qū)域容易造成與晶圓搬運器的掛鉤21的摩擦。久而久之,在著力區(qū)上的特氟龍（teflon）保護(hù)層會被破壞，破壞現(xiàn)象主要表現(xiàn)為裂紋，并且，這種裂紋很難憑肉眼觀察到,只能通過全反射X射線熒光分析(TXRF)來監(jiān)測，但是由于TXRF的產(chǎn)能限制,只能一段時間進(jìn)行一次監(jiān)測，很難及時的檢測到裂紋的存在，這就導(dǎo)致金屬離子透過裂紋溶解在化學(xué)清洗溶液內(nèi),造成對晶圓的金屬離子污染,導(dǎo)致后續(xù)的晶圓允收測試（WAT）不合格產(chǎn)品增加，降低成品率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種機(jī)械手臂抓器，以解決現(xiàn)有的機(jī)械手臂抓器的鉤子的磨損情況監(jiān)測不及時造成對晶圓的金屬離子污染的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，一種機(jī)械手臂抓器，包括一鉤子，在所述鉤子的拐角區(qū)域設(shè)置有若干突起。

可選的，所述突起為表面圓滑的凸點；所述突起為所述突起為半球形、凸球形或橢球形；所述突起均勻分布在所述鉤子的拐角區(qū)域；所述突起高度為1～2mm，寬度為1.5～3mm，突起與突起之間的距離為0.5～1mm。

可選的，所述鉤子包括主體以及涂敷于所述主體表面的保護(hù)涂層，所述保護(hù)涂層的材質(zhì)為特氟龍，所述突起與所述保護(hù)涂層是一體成型的。

可選的，所述機(jī)械手臂抓器還包括支撐部件，所述支撐部件與所述鉤子連接。

本實用新型還提供一種機(jī)械手臂，包括升降組件以及移動組件，其特征在于，還包括如上所述的機(jī)械手臂抓器，所述機(jī)械手臂抓器的鉤子與所述升降組件以及移動組件連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的機(jī)械手臂抓器的鉤子的拐角處設(shè)置若干突起，憑肉眼即可觀測所述若干突起的磨損情況，進(jìn)而判斷是否需要更換機(jī)械手臂抓器的鉤子，避免晶圓因為鉤子損傷而受到金屬污染,提高產(chǎn)品的良率。

附圖說明

圖1是晶圓刻蝕后清洗流程圖；

圖2是現(xiàn)有的機(jī)械手臂抓器的鉤子鉤住晶圓搬運器的示意圖；

圖3是本實用新型一實施例的機(jī)械手臂抓器的鉤子的示意圖；

圖4是圖3中沿AA’向的截面示意圖；

圖5是本實用新型一實施例的機(jī)械手臂抓器的鉤子上突起的磨損示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合示意圖對本實用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。