[實用新型]過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201420014401.8
• 申請日: 2014-01-09
• 公開（公告）號: CN203668511U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 焦建軍;鄭遠志;周德保;楊東;陳向東;康建;梁旭東
• 申請（專利權）人: 圓融光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

技術領域

本實用新型涉及半導體制造業中的過濾技術，尤其涉及一種過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設備。

背景技術

目前，半導體技術中生產發光二極管（Light-emitting?diode，LED）的設備主要是金屬有機化學氣相沉積（Metal-organic?Chemical?Vapor?Deposition，MOCVD）設備，MOCVD設備一般由德國愛思強（AIXTRON）、美國維易科(VEECO)等國際廠商提供。

為避免廢棄物對真空設備的損壞并維持反應腔壓力的穩定，需在MOCVD設備中設置過濾裝置，由過濾裝置對反應腔中產生的固體廢棄物進行過濾，避免固體廢棄物到達真空泵，對真空泵造成損壞從而影響反應腔壓力。

然而，過濾裝置具有一定的生命周期，到達生命周期后需要更換，每次更換需要大量的時間，使得MOCVD設備生成效率低、LED造價成本高。

實用新型內容

本實用新型提供一種過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設備，通過降低過濾裝置的更換頻率，實現提高MOCVD設備生產效率、降低LED造價成本的目的。

第一個方面，本實用新型提供一種過濾裝置，包括：

N個過濾器組，各所述過濾器組包括M個過濾器與一個開關，各所述過濾器組并聯連接，其中，N≥2，M≥1，且N、M為整數。

在第一個方面的第一種可能的實現方式中，當M=1時，各所述過濾器組中的過濾器與所述開關串聯連接。

在第一個方面的第二種可能的實現方式中，當M≥2時，各所述過濾器組中的各過濾器串聯連接，所述開關與串聯連接的各所述過濾器串聯連接；或者，

當M≥2時，各所述過濾器組中的各過濾器并聯連接，所述開關與并聯連接的各所述過濾器串聯連接。

結合第一個方面、第一個方面的第一種或二種可能的實現方式，在第一個方面的第三種可能的實現方式中，所述N=4，所述M=1。

第二個方面，本實用新型實施例提供一種金屬有機化學氣相沉積設備，其包括如上第一個方面、第一個方面的第一種、第二種或第三種所述的過濾裝置。

本實用新型提供的過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設備，各過濾器組具有一開關且各過濾器組相互并聯，使得各過濾器組相互獨立，實際使用過程中，可通過開關的開啟與關閉對過濾器組的工作狀態進行控制，無需對整個過濾裝置進行替換，而是僅通過簡單的開關打開與閉合即可實現過濾器的切換，從而節約時間，降低過濾裝置的更換頻率，實現提高MOCVD設備生產效率、降低LED造價成本的目的。

附圖說明

圖1為本實用新型提供的一個過濾裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型提供的再一個過濾裝置的結構示意圖；

圖3為本實用新型提供的又一個過濾裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為了更清楚的說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中多需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見的，下面描寫的附圖僅是本實用新型的一些實例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型提供的一個過濾裝置的結構示意圖。如圖1所示，本實施例提供的過濾裝置包括N組過濾器，即N個過濾器組，第一過濾器組中包括串聯連接的一個開關與一個過濾器，第二過濾器組中包括串聯連接的一個開關與一個過濾器，第N過濾器組中包括串聯連接的一個開關與M個過濾器，其中，M個過濾器相互并聯連接。

請參照圖1，由于各個過濾器組并聯連接，各過濾器組相互獨立。因此，可通過開關的打開與閉合控制各過濾器組的工作狀態。例如，打開第一過濾器組的開關，而閉合其他過濾器組的開關，此時，第一過濾器組工作，其他過濾器組處于備份狀態，當第一過濾器組堵塞后，可切換到第二過濾器組或其他過濾器組。在實際應用中，可根據需求設置每個過濾器組中過濾器的數量和每次處于工作狀態的過濾器組的數量，例如，每次使用兩個過濾器，其余的過濾器組的開關保持閉合狀態，從而與主管道隔離。當需要更換過濾器時將未使用過的過濾器組開關打開，使其與主管道導通；將使用過的過濾器組開關關閉，使其與主管道隔離。如此一來，無需對整個過濾裝置進行替換，而是僅通過簡單的開關打開與閉合即可實現過濾器的切換，從而節約時間，降低過濾裝置的更換頻率，實現提高MOCVD設備生產效率、降低LED造價成本的目的。