[實用新型]過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201420014401.8
• 申請日: 2014-01-09
• 公開（公告）號: CN203668511U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 焦建軍;鄭遠志;周德保;楊東;陳向東;康建;梁旭東
• 申請（專利權）人: 圓融光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種過濾裝置，其特征在于，包括：

N個過濾器組，各所述過濾器組包括M個過濾器與一個開關，各所述過濾器組并聯連接，其中，N≥2，M≥1，且N、M為整數。

2.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，當M=1時，各所述過濾器組中的過濾器與所述開關串聯連接。

3.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，當M≥2時，各所述過濾器組中的各過濾器串聯連接，所述開關與串聯連接的各所述過濾器串聯連接；或者，

當M≥2時，各所述過濾器組中的各過濾器并聯連接，所述開關與并聯連接的各所述過濾器串聯連接。

4.根據權利要求1～3任一項所述的過濾裝置，其特征在于，所述N=4，所述M=1。

5.一種金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，包括如權利要求1～4任一項所述的過濾裝置。