[實用新型]氦氣測漏裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420013301.3 | 申請日： | 2014-01-09 |
| 公開（公告）號： | CN203688172U | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 羅建華;賀波亮;陳起偉;李斌;張潮;封龍剛 | 申請（專利權）人： | 西安神光安瑞光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/20 | 分類號： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 倪金榮 |
| 地址： | 710100 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氦氣 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種氦氣測漏裝置，其特征在于：包括用于固定裝載晶圓的托盤的固定機構，用于將托盤和固定機構接觸面之間形成的腔體進行抽真空的真空泵，真空泵通過管道和腔體連通，管道上設置有用于檢測真腔體真空度的真空計和用于檢測氦氣泄漏數(shù)據(jù)的氦氣偵測計。
2.根據(jù)權利要求1所述的氦氣測漏裝置，其特征在于：所述管道上設置有開關真空泵的手動閥。
3.根據(jù)權利要求2所述的氦氣測漏裝置，其特征在于：所述固定機構包括用于承載托盤的卡盤，托盤通過固定壓塊固定在卡盤上。
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