[實用新型]一種光刻機的掩膜版降溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420000246.4
• 申請日: 2014-01-01
• 公開（公告）號: CN203745795U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 滕飛
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙創(chuàng)芯集成電路有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及降溫裝置技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，特別涉及一種光刻機的掩膜版降溫裝置。

背景技術(shù)

在芯片的制造中，采用光刻機進行光刻是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu)，然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所襯底上。而隨著紫外線不停的照射掩膜版導(dǎo)致掩膜版的溫度升高，從而使掩膜版上的圖像線條由于受熱膨脹而產(chǎn)生形變，最終導(dǎo)致光刻機曝光出來的線條均勻性下降甚至影響套刻的穩(wěn)定性。

現(xiàn)有的光刻掩膜版技術(shù)是通過內(nèi)置空調(diào)恒溫的方式維持腔體溫度的。也就是蒸發(fā)器中的液態(tài)制冷劑吸收空氣的熱量（空氣被降溫及除濕）并開始蒸發(fā)，最終制冷劑與空氣之間形成一定的溫度差，液態(tài)制冷劑亦完全蒸發(fā)變?yōu)闅鈶B(tài)，后被壓縮機吸入并壓縮（壓力和溫度增加）,氣態(tài)制冷劑通過冷凝器（風(fēng)冷/水冷）吸收熱量，凝結(jié)成液體。通過膨脹閥（或毛細(xì)管）節(jié)流后變成低溫低壓制冷劑進入蒸發(fā)器，完成制冷劑循環(huán)過程。風(fēng)機負(fù)責(zé)將空氣從回風(fēng)口吸入，空氣經(jīng)過蒸發(fā)器（降溫、除濕），加濕器，電加熱器（升溫）后經(jīng)送風(fēng)機送到腔體內(nèi)，送出的空氣與空間內(nèi)的空氣混合后回到回風(fēng)口。但是現(xiàn)有技術(shù)的缺點在于：一、空調(diào)恒溫雖然對整體溫度得到了有效控制，但是對局部的溫度很難得到控制；二、掩膜版的持續(xù)高溫利用空調(diào)恒溫降低持續(xù)的時間較長；三、空調(diào)恒溫對掩膜版降溫效果較差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種可對掩膜版的局部溫度進行控制并且降溫時間短、效果好的光刻機的掩膜版降溫裝置。

為了解決以上提出的問題，本實用新型采用的技術(shù)方案為：一種光刻機的掩膜版降溫裝置，包括箱體，設(shè)于箱體一側(cè)的進風(fēng)口，安裝于箱體內(nèi)的工作架，依次設(shè)于工作架下端的壓縮機、加熱器和送風(fēng)機，和設(shè)于工作架一側(cè)的高效過濾器，設(shè)于工作架內(nèi)由上至下的掩膜版、鏡頭和硅片工作臺，以及安裝于箱體上與掩膜版對應(yīng)的汞燈，所述壓縮機位于進風(fēng)口的一側(cè)，所述送風(fēng)機位于高效過濾器的一側(cè)，其還包括安裝于工作架內(nèi)用于實時檢測掩膜版溫度的紅外溫度測試儀，和與紅外溫度測試儀連接的用于對掩膜版進行降溫的冷卻降溫裝置。

根據(jù)本實用新型的一優(yōu)選實施例：所述冷卻降溫裝置包括冷氣泵，與冷氣泵連接的冷氣管和設(shè)于冷氣泵內(nèi)用于控制冷氣管導(dǎo)通的電磁閥，并且當(dāng)紅外溫度測試儀檢測到掩膜版的溫度變化超過0.2℃時，所述電磁閥打開，所述冷氣泵通過冷氣管向掩膜版上通入冷卻氣體直至紅外溫度測試儀檢測到掩膜版的溫度降低0.2℃時，所述電磁閥關(guān)閉。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果在于：本實用新型通過紅外溫度測試儀和冷卻降溫裝置，可以對掩膜版的局部溫度進行實時的控制并且降溫的時間短、效果好。

附圖說明

圖1為本實用新型的光刻機的掩膜版降溫裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型的光刻機的掩膜版降溫裝置中紅外溫度測試儀與冷氣泵的控制連接圖。

附圖標(biāo)記說明：1、箱體，2、高效過濾器，3、工作架，4、汞燈，5、紅外溫度測試儀，6、掩膜版，7、冷氣管，8、冷氣泵，9、電磁閥，10、鏡頭，11、硅片，12、硅片工作臺，13、進風(fēng)口，14、壓縮機，15、加熱器，16、送風(fēng)機。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例及附圖對本實用新型作進一步詳細(xì)的描述，但本實用新型的實施方式不限于此。

參閱圖1和圖2所示，本實用新型提供一種光刻機的掩膜版降溫裝置，包括箱體1，設(shè)于箱體1一側(cè)的進風(fēng)口13，安裝于箱體1內(nèi)的工作架3，依次設(shè)于工作架3下端的壓縮機14、加熱器15和送風(fēng)機16，和設(shè)于工作架3一側(cè)的高效過濾器2，設(shè)于工作架3內(nèi)由上至下的掩膜版6、鏡頭10和硅片工作臺12，以及安裝于箱體1上與掩膜版6對應(yīng)的汞燈4，所述壓縮機14位于進風(fēng)口13的一側(cè)，所述送風(fēng)機16位于高效過濾器2的一側(cè)，其還包括安裝于工作架3內(nèi)用于實時檢測掩膜版6溫度的紅外溫度測試儀5，和與紅外溫度測試儀5連接的用于對掩膜版6進行降溫的冷卻降溫裝置。

在本實用新型中，由壓縮機14、加熱器15、送風(fēng)機16和高效過濾器2所組成的大的溫度循環(huán)系統(tǒng)可以對整體進行溫度控制，而由紅外溫度測試儀5和冷卻降溫裝置組成的較小的溫度系統(tǒng)可以對掩膜版6進行局部的冷卻控制。