[實用新型]一種光刻機的掩膜版降溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420000246.4
• 申請日: 2014-01-01
• 公開（公告）號: CN203745795U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 滕飛
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙創(chuàng)芯集成電路有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻機的掩膜版降溫裝置，包括箱體（1），設(shè)于箱體（1）一側(cè)的進風口（13），安裝于箱體（1）內(nèi)的工作架（3），依次設(shè)于工作架（3）下端的壓縮機（14）、加熱器（15）和送風機（16），和設(shè)于工作架（3）一側(cè)的高效過濾器（2），設(shè)于工作架（3）內(nèi)由上至下的掩膜版（6）、鏡頭（10）和硅片工作臺（12），以及安裝于箱體（1）上與掩膜版（6）對應(yīng)的汞燈（4），所述壓縮機（14）位于進風口（13）的一側(cè)，所述送風機（16）位于高效過濾器（2）的一側(cè)，其特征在于：還包括安裝于工作架（3）內(nèi)用于實時檢測掩膜版（6）溫度的紅外溫度測試儀（5），和與紅外溫度測試儀（5）連接的用于對掩膜版（6）進行降溫的冷卻降溫裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機的掩膜版降溫裝置，其特征在于：所述冷卻降溫裝置包括冷氣泵（8），與冷氣泵（8）連接的冷氣管（7）和設(shè)于冷氣泵（8）內(nèi)用于控制冷氣管（7）導通的電磁閥（9），并且當紅外溫度測試儀（5）檢測到掩膜版（6）的溫度變化超過0.2℃時，所述電磁閥（9）打開，所述冷氣泵（8）通過冷氣管（7）向掩膜版（6）上通入冷卻氣體直至紅外溫度測試儀（5）檢測到掩膜版（6）的溫度降低0.2℃時，所述電磁閥（9）關(guān)閉。