[發(fā)明專(zhuān)利]干式蝕刻機(jī)及用于捕集氣體中磁性顆粒的捕集裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410856121.6
• 申請(qǐng)日: 2014-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104480468A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖文歡
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23F1/08
• 分類(lèi)號(hào): C23F1/08;B03C1/02
• 代理公司: 北京聿宏知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;劉華聯(lián)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種干式蝕刻機(jī)及一種用于捕集氣體中磁性顆粒的捕集裝置。

背景技術(shù)

干式蝕刻機(jī)沿著氣體流動(dòng)方向依次包括蝕刻裝置、能夠從蝕刻裝置內(nèi)抽出氣體的抽風(fēng)裝置和能夠凈化抽風(fēng)裝置排出的氣體的尾氣處理裝置，以及用于把各裝置依次連接起來(lái)的管道。

該干式蝕刻機(jī)的蝕刻裝置對(duì)特殊的待蝕刻對(duì)象、例如摻有金屬的低溫多晶硅層(即陣列基板的半導(dǎo)體活性層)進(jìn)行干法蝕刻時(shí)會(huì)產(chǎn)生帶有大量磁性顆粒的氣體。該磁性顆粒的主要成分包括三氯化鋁(化學(xué)式為AlCl₃)和鉬的氯化物(化學(xué)式為MoCl_x)。

在干式蝕刻機(jī)頻繁使用后，磁性顆粒會(huì)在抽風(fēng)裝置的內(nèi)部出現(xiàn)沉積，大幅度地降低抽風(fēng)裝置的抽風(fēng)效率和使用壽命。同時(shí)，磁性顆粒還會(huì)在管道的拐角處和縮頸處進(jìn)行堆積，影響管道內(nèi)氣體的順暢性。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供了一種干式蝕刻機(jī)，其能夠避免磁性顆粒在抽風(fēng)裝置的內(nèi)部進(jìn)行沉積，從而提升抽風(fēng)裝置的抽風(fēng)效率和使用壽命。同時(shí)，本發(fā)明的目的是還提供了一種用于捕集氣體中磁性顆粒的捕集裝置，其能夠有效地捕集氣體中的磁性顆粒。

本發(fā)明提供了一種干式蝕刻機(jī)，其包括能夠產(chǎn)生帶有磁性顆粒的氣體的蝕刻裝置和能夠從蝕刻裝置內(nèi)抽出氣體的抽風(fēng)裝置，以及設(shè)置在蝕刻裝置與抽風(fēng)裝置之間的用于捕集氣體中的磁性顆粒的捕集裝置。捕集裝置包括具有進(jìn)口和出口的殼體，以及設(shè)置在殼體內(nèi)的磁性過(guò)濾單元。磁性過(guò)濾單元與殼體之間，和/或磁性過(guò)濾單元內(nèi)形成有與進(jìn)口和出口均連通的通道。其中，磁性過(guò)濾單元構(gòu)造成當(dāng)氣體流經(jīng)通道時(shí)，能夠吸附氣體內(nèi)的磁性顆粒。

在一個(gè)實(shí)施例中，磁性過(guò)濾單元內(nèi)的通道呈螺旋形或渦旋形。

在一個(gè)實(shí)施例中，磁性過(guò)濾單元包括多個(gè)依次套接的磁性套，通道包括形成在磁性套間的多個(gè)環(huán)形間隙，以及設(shè)置在各磁性套上的用于連通各環(huán)形間隙的開(kāi)口，相鄰的開(kāi)口彼此錯(cuò)開(kāi)。

在一個(gè)實(shí)施例中，在殼體內(nèi)設(shè)有過(guò)濾芯，過(guò)濾芯包括貼合于殼體的內(nèi)壁的第一表面和設(shè)于第一表面上并與出口相連的盲孔，以及與通道相接的且具有多個(gè)凹槽的第二表面。

在一個(gè)實(shí)施例中，捕集裝置還包括能夠?qū)Υ判赃^(guò)濾單元進(jìn)行散熱的散熱機(jī)構(gòu)。

在一個(gè)實(shí)施例中，磁性過(guò)濾單元由磁性纖維材料制成。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述干式蝕刻機(jī)還包括與能夠凈化所述抽風(fēng)裝置排出的氣體的尾氣處理裝置。

本發(fā)明還提供了一種用于捕集氣體中磁性顆粒的捕集裝置，其包括具有進(jìn)口和出口的殼體，以及設(shè)置在殼體內(nèi)的磁性過(guò)濾單元。其中，磁性過(guò)濾單元與殼體之間和/或磁性過(guò)濾單元內(nèi)形成有與進(jìn)口和出口均連通的通道，磁性過(guò)濾單元構(gòu)造成當(dāng)氣體流經(jīng)通道時(shí)，能夠吸附氣體內(nèi)的磁性顆粒。

在一個(gè)實(shí)施例中，磁性過(guò)濾單元內(nèi)的通道呈螺旋形或渦旋形。

在一個(gè)實(shí)施例中，磁性過(guò)濾單元包括多個(gè)依次套接的磁性套，通道包括形成在磁性套間的多個(gè)環(huán)形間隙，以及設(shè)置在各磁性套上的用于連通各環(huán)形間隙的開(kāi)口，相鄰的開(kāi)口彼此錯(cuò)開(kāi)。

在一個(gè)實(shí)施例中，在殼體內(nèi)設(shè)有過(guò)濾芯，過(guò)濾芯包括貼合于殼體的內(nèi)壁的第一表面和設(shè)于第一表面上并與出口相連的盲孔，以及與通道相接的且具有多個(gè)凹槽的第二表面。

在一個(gè)實(shí)施例中，捕集裝置還包括能夠?qū)Υ判赃^(guò)濾單元進(jìn)行散熱的散熱機(jī)構(gòu)。

在一個(gè)實(shí)施例中，磁性過(guò)濾單元由磁性纖維材料制成。

根據(jù)本發(fā)明的干式蝕刻機(jī)能夠通過(guò)其捕集裝置捕集氣體內(nèi)的磁性顆粒，由此可以避免磁性顆粒進(jìn)入到抽風(fēng)裝置內(nèi)進(jìn)行沉積，從而提高抽風(fēng)裝置的抽風(fēng)效率和使用壽命。同時(shí)，該捕集裝置還能夠避免磁性顆粒進(jìn)入到處于捕集裝置下游的管道和尾氣處理裝置內(nèi)，由此可以避免磁性顆粒堵塞下游的管道和尾氣處理裝置，尤其是避免堵塞管道內(nèi)的拐角處和縮頸處。

另外，根據(jù)本發(fā)明的干式蝕刻機(jī)和捕集裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝配容易，使用安全，便于實(shí)施推廣應(yīng)用。

附圖說(shuō)明

在下文中將基于實(shí)施例并參考附圖來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。其中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明的干式蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明的干式蝕刻機(jī)的捕集裝置的縱向剖視圖；以及

圖3是根據(jù)本發(fā)明的干式蝕刻機(jī)的捕集裝置的橫向剖視圖。

在附圖中相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實(shí)際的比例繪制。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。