[發明專利]干式蝕刻機及用于捕集氣體中磁性顆粒的捕集裝置

在審

• 申請號: 201410856121.6
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN104480468A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 肖文歡
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;B03C1/02
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;劉華聯

1.一種干式蝕刻機，包括能夠產生帶有磁性顆粒的氣體的蝕刻裝置和能夠從所述蝕刻裝置內抽吸所述氣體的抽風裝置，以及設置在所述蝕刻裝置與抽風裝置之間的用于捕集所述氣體中的磁性顆粒的捕集裝置，其中所述捕集裝置包括具有進口和出口的殼體，以及設置在所述殼體內的磁性過濾單元，其中所述磁性過濾單元與殼體之間，和/或所述磁性過濾單元內形成有與所述進口和出口均連通的通道，所述磁性過濾單元構造成當所述氣體流經所述通道時，能夠吸附所述氣體內的磁性顆粒。

2.根據權利要求1所述的干式蝕刻機，其特征在于，所述磁性過濾單元內的所述通道呈螺旋形或渦旋形。

3.根據權利要求1所述的干式蝕刻機，其特征在于，所述磁性過濾單元包括多個依次套接的磁性套，所述通道包括形成在所述磁性套間的多個環形間隙，以及設置在各所述磁性套上的用于連通各所述環形間隙的開口，相鄰的所述開口彼此錯開。

4.根據權利要求3所述的干式蝕刻機，其特征在于，在所述殼體內設有過濾芯，所述過濾芯包括貼合于所述殼體的內壁的第一表面和設于所述第一表面上并與所述出口相連的盲孔，以及與所述通道相接的且具有多個凹槽的第二表面。

5.根據權利要求1到4中任一項所述的干式蝕刻機，其特征在于，還包括能夠對所述磁性過濾單元進行散熱的散熱機構。

6.根據權利要求1到4中任一項所述的干式蝕刻機，其特征在于，所述磁性過濾單元由磁性纖維材料制成。

7.一種用于捕集氣體中磁性顆粒的捕集裝置，包括具有進口和出口的殼體，以及設置在所述殼體內的磁性過濾單元，其中，所述磁性過濾單元與殼體之間和/或所述磁性過濾單元內形成有與所述進口和出口均連通的通道，所述磁性過濾單元構造成當所述氣體流經所述通道時，能夠吸附所述氣體內的磁性顆粒。

8.根據權利要求7所述的捕集裝置，其特征在于，所述磁性過濾單元內的所述通道呈螺旋形或渦旋形。

9.根據權利要求7所述的捕集裝置，其特征在于，所述磁性過濾單元包括多個依次套接的磁性套，所述通道包括形成在所述磁性套間的多個環形間隙，以及設置在各所述磁性套上的用于連通各所述環形間隙的開口，相鄰的所述開口彼此錯開。

10.根據權利要求7到9中任一項所述的捕集裝置，其特征在于，所述磁性過濾單元由磁性纖維材料制成。